[实用新型]一种金属小体积容器体积测定系统

权利要求书

1.一种金属小体积容器体积测定系统，其特征在于：包括不锈钢罐(12)、与不锈钢罐(12)的测试端口连接的阀门、第一薄膜规(10)和第二薄膜规(11)和全金属密封阀(13)，且所述的全金属密封阀(13)与泵组件连接；

所述的阀门包括阀座(23)、设于阀座(23)内的阀瓣(24)和阀头，以及阀头的驱动机构；

所述的阀头包括第一金属阀头(3)和第二金属阀头(6)；所述的阀座(23)内部分为上下两个内腔，分别安装第一金属阀头(3)和第二金属阀头(6)，两者分别通过驱动机构驱动在阀座(23)内上下移动；

所述的阀瓣(24)位于阀座(23)内，其中部加工锥形斜面作为密封面，包括上斜面和下斜面，分别与第一金属阀头(3)和第二金属阀头(6)构成待测小体积(4)；

所述的阀座(23)的下端加工小体积进气口(5)，阀座(23)的上端加工小体积出气口(9)；所述的小体积进气口(5)和小体积出气口(9)分别穿过阀瓣(24)与阀体内部相通。

2.如权利要求1所述的一种金属小体积容器体积测定系统，其特征在于：所述的第一金属阀头(3)通过与其连接的第一金属阀头驱动杆(1)驱动，所述的第二金属阀头(6)通过与其连接的第二金属阀头驱动杆(8)驱动。

3.如权利要求1所述的一种金属小体积容器体积测定系统，其特征在于：所述的泵组件包括分子泵(15)和涡旋干泵(16)，两者通过真空胶管连接。

4.如权利要求3所述的一种金属小体积容器体积测定系统，其特征在于：所述的分子泵(15)通过管路连接离子规(14)，且分子泵(15)通过管路连接全金属密封阀(13)。

5.如权利要求4所述的一种金属小体积容器体积测定系统，其特征在于：所述的管路上设有法兰。

6.如权利要求4所述的一种金属小体积容器体积测定系统，其特征在于：所述的不锈钢罐(12)，在其测试端口与对应的阀门、第一薄膜规(10)、第二薄膜规(11)和全金属密封阀(13)连接的管路上均设有法兰。

7.如权利要求1所述的一种金属小体积容器体积测定系统，其特征在于：所述的第一金属阀头(3)和第二金属阀头(6)分别于对应侧的密封面紧密接触时，待测小体积(4)是密封的。