[实用新型]一种舟传输装置

说明书

本实用新型公开了一种舟传输装置,包括安装舟的舟托板组件、用于传输舟托板组件的传输机构和调整机构，所述舟托板组件包括支撑结构和限位结构，支撑结构用于对舟的支撑，限位结构用于对舟的限位，调整机构由第一调整固定块、第二调整固定块以及调整杆构成，传输机构包括支板，支板两侧分别设有护板，调整机构通过调整护板以适应不同舟托板组件的传输，本实用新型采用支撑结构对舟进行支撑，通过限位结构对舟进行限位，保证舟在传输过程中的稳定性，本实用新型通过螺钉在张紧调节孔内的顶伸控制控制第一皮带的张紧力以及张紧组件调节第二皮带的张紧力，调节结构简单，操作方便，保证了第一皮带和第二皮带传动的稳定性。

技术领域

本实用新型属于半导体制造及太阳能光伏电池制造领域领域，尤其涉及半导体制造和光伏电池片的制备工序。

背景技术

目前光伏电池片的制备设备，如扩散炉、退火炉、氧化炉、LPCVD、PECVD 等大多使用多管设备，多管设备共用一个净化台和上下料设备，净化台中包括舟传输机构，舟传输机构在净化台内来回传输。

舟传输机构将已工艺的舟传向上下料设备，并从上下料设备接过未工艺的舟传到净化台内部，舟传输机构对舟的传输是长期间隙运行的，以保证整体设备的运行，一旦舟传输机构出现问题，整台多管设备都得停机维护。

随着市场对产能要求的不断提高，对硅片尺寸的要求越来越大，舟传输的稳定性和可靠性要求都很高，本实用新型提供了一种稳定可靠的舟传输装置。

发明内容

本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种舟传输装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种舟传输装置,其特征在于：包括安装舟的舟托板组件、用于传输舟托板组件的传输机构和调整机构，所述舟托板组件包括支撑结构和限位结构，支撑结构用于对舟的支撑，限位结构用于对舟的限位，调整机构由第一调整固定块、第二调整固定块以及调整杆构成，传输机构包括支板，支板两侧分别设有护板，调整机构通过调整护板以适应不同舟托板组件的传输。

进一步的；所述传输机构位于机架上，传输机构包括驱动组件和张紧组件，驱动组件和张紧组件分别位于支板的两端，驱动组件通过第二皮带对舟托板组件进行传输，张紧组件控制第二皮带的张紧力，所述传输机构包括固设在支板上的压块，压块两侧固设有压板，第二皮带位于压板和支板之间，压板限制第二皮带在纵向的移动，支板上固设有位于第二皮带下方的垫板，垫板的上固设有与第二皮带宽度相配的压槽，第二皮带依次穿过压槽，限制了第二皮带的横向晃动。

进一步的；所述驱动组件包括第一固定箱和第二固定箱，第一固定箱连接有驱动电机，驱动电机的输出轴转动贯穿第一固定箱，第二固定箱内转动设置有转杆，位于第一固定箱内的驱动电机输出轴以及位于第二固定箱转杆分别固设有第一转动轮，两组第一转动轮通过第一皮带连接，第一固定箱和第二固定箱间设有调节杆，第二固定箱上固设有张紧调节孔，张紧调节孔内设有螺钉，螺钉在张紧调节孔内的顶伸调整第一固定箱和第二固定箱的间距，控制第一皮带的张紧力，转杆上固设有第二转动轮，第一固定箱和第二固定箱安装在支板上。进一步的；所述张紧组件包括固板、连接板以及张紧板，固板与连接板固设连接，固板上固设有调节孔，连接板上固设有定位腔，定位腔上固设有移动孔，张紧板设有两组且对称分布，张紧板包括悬臂和张紧转板，悬臂安装在定位腔，定位腔为悬臂的安装进行定位，悬臂上固设有多组移动槽，紧固件依次通过移动槽和移动孔将张紧板连接，张紧转板上转动设置有第三转动轮，第三转动轮与第二转动轮通过第二皮带连接，螺钉贯穿调节孔与悬臂端面相抵，通过螺钉在调节孔内的移动调节悬臂端面与固板的距离，控制第二皮带的张紧力。

进一步的；所述护板限定舟托板组件的传输范围，护板两端固设有导向板，导向板朝支板外侧延伸，便于舟托板组件导入和导出传输机构，护板上固设有传感器孔和传感器，传感器通过传感器孔对舟托板组件进行监测。

进一步的；所述第一调整固定块固设于机架上，第二调整固定块固设于支板上，导向板位于第二调整固定块上方，通过调整杆的调整，第二调整固定块驱动导向板上移。