[实用新型]一种新型硅片边缘抛光机

权利要求书

1.一种新型硅片边缘抛光机，包括机架(1)、磨头组件(3)和旋转台(5)，其特征在于：所述机架(1)的底端四角均设置有支撑座(2)，所述机架(1)的内部底端设置有接液盆(4)，接液盆(4)的上端中央设置有旋转台(5)，旋转台(5)的顶端表面吸附有硅片(6)，旋转台(5)远离硅片(6)的一端设置有供液接口(7)，所述机架(1)的中部远离旋转台(5)的一侧设置有摆臂(8)，所述机架(1)的上端设置有磨头组件(3)，所述磨头组件(3)包括升降电机(9)、安装支架(10)、旋转电机(11)、传动轴(12)、侧推气缸(13)和磨头(15)，所述升降电机(9)的一端螺栓连接在机架(1)的顶端表面，另一端与安装支架(10)活动连接，所述旋转电机(11)的设置在安装支架(10)的内部，旋转电机(11)的输出端传动连接有与其相匹配的传动轴(12)，所述传动轴(12)的一端贯穿安装支架(10)与磨头(15)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种新型硅片边缘抛光机，其特征在于：所述机架(1)内部远离安装支架(10)的一侧底端设置有底座(14)，所述侧推气缸(13)的底端螺栓连接在底座(14)的表面，并通过底座(14)固定安装在机架(1)的内部，所述侧推气缸(13)的输出端与安装支架(10)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种新型硅片边缘抛光机，其特征在于：所述安装支架(10)包括连接板(16)、滑杆(17)、固定套(18)和固定板(19)，所述滑杆(17)的一端贯穿机架(1)，且活动安装在机架(1)的顶端位于升降电机(9)的两侧，所述滑杆(17)的底端固定安装有固定板(19)，所述滑杆(17)表面远离固定板(19)的一端表面活动连接有固定套(18)，所述连接板(16)的两端与固定套(18)固定连接，所述连接板(16)通过固定套(18)固定安装在安装支架(10)的表面。

4.根据权利要求1所述的一种新型硅片边缘抛光机，其特征在于：所述升降电机(9)的一端与连接板(16)固定连接，所述旋转电机(11)通过固定板(19)活动安装在安装支架(10)的内部，所述传动轴(12)的一端贯穿固定板(19)与磨头(15)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种新型硅片边缘抛光机，其特征在于：所述旋转电机(11)、传动轴(12)和磨头(15)同轴设置，所述磨头(15)通过安装支架(10)设置有机架(1)内部，且位于供液接口(7)的一侧上端。