[实用新型]一种双工位检漏系统

说明书

本实用新型提供一种双工位检漏系统，包括阀岛、吹扫气源、预抽泵和氦质谱检漏仪，所述吹扫气源与所述阀岛通过密封管道连接，所述预抽泵与所述阀岛通过密封管道连接，所述氦质谱检漏仪与所述阀岛通过密封管道连接。本实用新型将电磁阀安装位和连接管道集成在阀岛上，阀岛集成度高，管道布局紧凑，内部管道连接安全可靠，极大程度上简化了双工位检漏系统的气路系统，并且可根据系统实际情况灵活设置电磁阀。

技术领域

本实用新型涉及氦质谱检漏仪应用领域，具体涉及一种双工位检漏系统。

背景技术

氦质谱检漏仪作为真空检漏应用中常用的分析仪器，由于其可检漏率小，检测速度快，检测过程简单方便，在电力、新能源、制冷、航空等行业应用越来越广泛。利用氦质谱检漏仪构成的双工位检漏系统，可以实现一个工位装夹待测件，另一个工位对待测件进行检漏，减少了氦质谱检漏仪的待机等待时间，提升了氦质谱检漏仪的利用率，大大提高系统的工作效率。但现有的双工位检漏系统的气路系统复杂，管路交叉连接多，从而降低了系统的抽空和检测能力，气路系统的密封可靠性低。

鉴于上述缺陷，本实用新型创作者经过长时间的研究和实践终于获得了本实用新型。

实用新型内容

本实用新型所要解决的问题在于：如何简化双工位检漏系统的气路系统，减少管道之间的交叉，从而提升系统的抽空能力。为此，提供一种双工位检漏系统。

一种双工位检漏系统，包括阀岛、吹扫气源、预抽泵和氦质谱检漏仪，所述吹扫气源与所述阀岛连接，所述预抽泵与阀岛连接，所述氦质谱检漏仪与阀岛连接。

所述阀岛上设置有第一安装工位和第二安装工位，所述第一安装工位依次设置有第一电磁阀安装位、第二电磁阀安装位和第三电磁阀安装位，所述第二安装工位上依次设置有第四电磁阀安装位、第五电磁阀安装位和第六电磁阀安装位，所述第一电磁阀安装位、第二电磁阀安装位、第三电磁阀安装位、第四电磁阀安装位、第五电磁阀安装位和第六电磁阀安装位上均设置有进气口和排气口。

所述阀岛上还设置有第一通路、第二通路、第三通路、第四通路和第五通路，所述第一通路分别连通第一电磁阀安装位的进气口和第三电磁阀安装位的进气口，并与第二电磁阀安装位的排气口连通；所述第二通路分别连通第四电磁阀安装位的进气口和第六电磁阀安装位的进气口，并与第五电磁阀安装位的排气口连通；所述第三通路分别连通第一电磁阀安装位的排气口和第四电磁阀安装位的排气口，并与所述氦质谱检漏仪连接；所述第四通路分别连通第二电磁阀安装位的进气口和第五电磁阀安装位的进气口，并与所述吹扫气源连接；所述第五通路分别连通第三电磁阀安装位的排气口和第六电磁阀安装位的排气口，并与所述预抽泵连接。

所述第一电磁阀安装位上设置有第一检漏电磁阀，所述第二电磁阀安装位上设置有第一空吹电磁阀，所述第三电磁阀安装位上设置有第一预抽电磁阀；所述第四电磁阀安装位上设置有第二检漏电磁阀，所述第五电磁阀安装位上设置有第二空吹电磁阀，所述第六电磁阀安装位上设置有第二预抽电磁阀。

优选的，所述双工位检漏系统还设置有减压阀和空气过滤器，所述吹扫气源、减压阀和空气过滤器依次连接，所述空气过滤器通过密封管道与阀岛连接。使得吹扫气源在执行吹扫流程和破空流程时，可以通过减压阀控制气流的强度；空气过滤器可以滤去空气中杂质，使得进入管道内部的气体为纯净的空气，避免了杂质对仪器的污染和损害。

优选的，所述第一电磁阀安装位上设置有第一检漏电磁阀，所述第四电磁阀安装位上设置有第二检漏电磁阀。所述第二电磁阀安装位上设置有第一空吹电磁阀，所述第三电磁阀安装位设置有第一预抽电磁阀；所述第五电磁阀安装位上设置有第二空吹电磁阀，所述第六电磁阀安装位上设置有第二预抽电磁阀。