[实用新型]一种半导体晶圆切割处理胶粘带有效

专利信息
申请号: 202023310586.1 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN213977527U 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 陈龙行;谢丽强 申请(专利权)人: 万洲胶粘制品(江苏)有限公司
主分类号: C09J7/29 分类号: C09J7/29;B65H35/07
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 226631 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 切割 处理 胶粘带
【说明书】:

实用新型公开了一种半导体晶圆切割处理胶粘带,包括胶粘带主体和裁切机构,所述胶粘带主体的上方表面贴合有硫化橡胶涂层,且硫化橡胶涂层的上方表面贴合有岩棉层,所述胶粘带主体的内侧套设有收束滚筒,且收束滚筒的前方与后方均铆接有外壳,所述收束滚筒的前方焊接有转把。该半导体晶圆切割处理胶粘带,通过硫化橡胶涂层和岩棉层的设置,在该装置的使用过程中通过设置有硫化橡胶涂层,使该装置的表面更加耐磨,防止在半导体晶圆切割处理过程中胶粘带主体被碎屑磨损导致断裂,且岩棉层的设置使该装置更加耐热,可以在高温环境下进行使用,不会被半导体晶圆切割处理时的高温碎屑融化,有效提升了该装置的实用性。

技术领域

本实用新型涉及晶圆相关技术领域,具体为一种半导体晶圆切割处理胶粘带。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅,高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅,硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆,目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主,晶圆的主要加工方式为片加工和批加工,即同时加工1片或多片晶圆,随着半导体特征尺寸越来越小,加工及测量设备越来越先进,使得晶圆加工出现了新的数据特点,同时,特征尺寸的减小,使得晶圆加工时,空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大,而随着洁净的提高,颗粒数也出现了新的数据特点,在晶圆的切割处理过程中需要使用到胶粘带,故此,我们提供半导体晶圆切割处理胶粘带。

但是目前使用的胶粘带,在使用过程中无法在高温环境下进行使用,容易被晶圆切割处理时的碎屑融化,实用性不佳。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体晶圆切割处理胶粘带,以解决上述背景技术中提出的目前使用的胶粘带,在使用过程中无法在高温环境下进行使用,容易被晶圆切割处理时的碎屑融化,实用性不佳的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体晶圆切割处理胶粘带,包括胶粘带主体和裁切机构,所述胶粘带主体的上方表面贴合有硫化橡胶涂层,且硫化橡胶涂层的上方表面贴合有岩棉层,所述胶粘带主体的内侧套设有收束滚筒,且收束滚筒的前方与后方均铆接有外壳,所述收束滚筒的前方焊接有转把,且转把的外侧贴合有橡胶防滑垫,所述裁切机构安装在外壳的上方,且外壳的上方表面开设有卡槽,所述卡槽的内侧设置有卡扣,且卡扣的一端焊接有固定块,所述固定块的前方贯穿有横杆。

优选的,所述硫化橡胶涂层的尺寸与胶粘带主体的尺寸相同,且硫化橡胶涂层的下方表面与胶粘带主体的上方表面紧密贴合。

优选的,所述岩棉层的尺寸与胶粘带主体的尺寸相同,且岩棉层的下方表面与胶粘带主体的上方表面紧密贴合。

优选的,所述收束滚筒与外壳旋转连接,且收束滚筒的直径小于外壳的直径。

优选的,所述橡胶防滑垫的内壁与转把的外壁紧密贴合,且转把呈“L”型结构设置。

优选的,所述裁切机构包括刀片、固定孔和固定杆,所述刀片安装在外壳的上方,且刀片的两侧表面开设有固定孔,所述固定孔的内侧设置有固定杆。

优选的,所述固定块通过卡扣与外壳卡合连接,且卡扣以横杆的中轴线对称设置。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1、该半导体晶圆切割处理胶粘带,通过硫化橡胶涂层和岩棉层的设置,在该装置的使用过程中通过设置有硫化橡胶涂层,使该装置的表面更加耐磨,防止在半导体晶圆切割处理过程中胶粘带主体被碎屑磨损导致断裂,且岩棉层的设置使该装置更加耐热,可以在高温环境下进行使用,不会被半导体晶圆切割处理时的高温碎屑融化,有效提升了该装置的实用性;

2、该半导体晶圆切割处理胶粘带,通过收束滚筒的设置,在该装置的使用过程中通过设置有收束滚筒,方便在使用过程中放长胶粘带主体进行粘接,有效提升了该装置的实用性;

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