[实用新型]一种石英硅片清洗槽机构有效
| 申请号： | 202023311797.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214160712U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陶锡昆 | 申请（专利权）人： | 昆山佳鹿石英有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 硅片 清洗 机构 | ||
1.一种石英硅片清洗槽机构，其特征在于：包括清洗槽(1)、丝杆螺母(2)、硅片放置框(4)和电机(5)；所述清洗槽(1)内壁上设有进液槽(10)，所述进液槽(10)上设有进液孔(11)，清洗槽(1)底部设有排液孔(7)，所述丝杆螺母(2)设于清洗槽(1)的四个直角处，所述硅片放置框(4)两侧通过连接柱(6)与丝杆螺母(2)上的升降板(3)连接，所述电机(5)固定于升降板(3)朝向进液槽(10)的一侧，且电机(5)的转轴贯穿升降板(3)与连接柱(6)连接，所述硅片放置框(4)的内壁设有放置槽(40)，硅片放置框(4)底部设有通槽(41)。
2.根据权利要求1所述的一种石英硅片清洗槽机构，其特征在于：所述进液槽(10)设置于所述清洗槽(1)的长度方向两侧，所述进液槽(10)的数量为若干个，具体呈直线阵列状设置，且进液槽(10)与清洗槽(1)的长度边线呈垂直位置关系；所述进液孔(11)的数量为若干个，具体呈间隔状排列于进液槽(10)上。
3.根据权利要求2所述的一种石英硅片清洗槽机构，其特征在于：所述放置槽(40)与所述进液槽(10)的方向平行，放置槽(40)的数量为若干个，具体呈直线阵列状设置。
4.根据权利要求3所述的一种石英硅片清洗槽机构，其特征在于：所述通槽(41)的数量为若干个，具体呈直线阵列状设置，且所述通槽(41)与所述放置槽(40)的位置具体为交错设置。
5.根据权利要求1所述的一种石英硅片清洗槽机构，其特征在于：所述硅片放置框(4)与所述连接柱(6)具体呈可拆卸的连接关系。
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