[实用新型]耐磨型光栅尺有效
申请号: | 202023314931.9 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN214223986U | 公开(公告)日: | 2021-09-17 |
发明(设计)人: | 巫孟良;胡勇;吴国良;李力强 | 申请(专利权)人: | 广东万濠精密仪器股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人: | 吴成开;徐勋夫 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 耐磨 光栅尺 | ||
本实用新型公开一种耐磨型光栅尺,包括有基板和设置于基板之表面上的多个刻度光栅;该基板为二氧化硅材质,每一刻度光栅均包括有氧化铬层和铬层;该氧化铬层结合固定在基板的表面上,该铬层结合固定在氧化铬层的表面上。通过由氧化铬层和铬层组成刻度光栅,利用氧化铬层可与二氧化硅材质的基板结合牢固,并配合铬层可与氧化铬层结合牢固,从而使本产品的耐磨性能得到很大的提升,有利于延长产品的使用寿命。
技术领域
本实用新型涉及光栅尺领域技术,尤其是指一种耐磨型光栅尺。
背景技术
在精密测量与自动控制领域,常采用光栅作为基准,被公认为是获取高精度最实用、最经济、最可靠的技术。此外光栅尺以其检测范围大、检测精度高和响应速度快等特点,被广泛应用于数控机床中,数控系统根据光栅尺反馈的位置信息来进行机械加工,因此光栅尺的精度直接决定了数控机床的加工精度。
目前的光栅尺的主要结构包括有基板和设置于基板之表面上的多个刻度光栅,基板通常为玻璃材质,即二氧化硅材质,而刻度光栅为铬材质,铬材质与二氧化硅材质结合力较弱,导致产品整体的耐磨性能较差。因此,有必要研究一种方案以解决上述问题。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型针对现有技术存在之缺失,其主要目的是提供一种耐磨型光栅尺,其能有效解决现有之光栅尺耐磨性能差的问题。
为实现上述目的,本实用新型采用如下之技术方案:
一种耐磨型光栅尺,包括有基板和设置于基板之表面上的多个刻度光栅;该基板为二氧化硅材质,每一刻度光栅均包括有氧化铬层和铬层;该氧化铬层结合固定在基板的表面上,该铬层结合固定在氧化铬层的表面上。
作为一种优选方案,所述氧化铬层通过真空溅镀的方式结合固定在基板的表面上。
作为一种优选方案,所述铬层通过真空溅镀的方式结合固定在氧化铬层的表面上。
作为一种优选方案,所述铬层的厚度大于氧化铬层的厚度。
本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果,具体而言,由上述技术方案可知:
通过由氧化铬层和铬层组成刻度光栅,利用氧化铬层可与二氧化硅材质的基板结合牢固,并配合铬层可与氧化铬层结合牢固,从而使本产品的耐磨性能得到很大的提升,有利于延长产品的使用寿命。
为更清楚地阐述本实用新型的结构特征和功效,下面结合附图与具体实施例来对本实用新型进行详细说明。
附图说明
图1是本实用新型之较佳实施例的局部截面图。
附图标识说明:
10、基板 20、刻度光栅
21、氧化铬层 22、铬层。
具体实施方式
请参照图1所示,其显示出了本实用新型之较佳实施例的具体结构,包括有基板10和设置于基板10之表面上的多个刻度光栅20。
该基板10为二氧化硅材质,每一刻度光栅20均包括有氧化铬层21和铬层22;该氧化铬层21结合固定在基板10的表面上,该铬层22结合固定在氧化铬层21的表面上,由于氧化铬层21和基板10均具有氧原子,键结较好,使得氧化铬层21和基板10结合牢固,并且,氧化铬层21和铬层22均具有铬原子,键结较好,使得氧化铬层21和铬层22结合牢固,实现更好的耐磨特性。在本实施例中,所述氧化铬层21通过真空溅镀的方式结合固定在基板10的表面上,所述铬层22通过真空溅镀的方式结合固定在氧化铬层21的表面上,所述铬层22的厚度大于氧化铬层21的厚度。
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