[实用新型]一种匀流装置

说明书

本实用新型为一种匀流装置，包括匀流筒以及支架；匀流筒设置于支架；支架设置于炉管内部；匀流筒包括插片筒和透气板；透气板卡接于插片筒内；透气板上均匀设置有透气孔；通过在炉管的进气管一端设置匀流筒，使进气管输入的反应气体首先通过匀流筒，通过透气板的匀流作用，使反应气体均匀通向炉管内的待加工产品，保证炉管截面内流向硅片的气流均匀。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造及太阳能光伏电池制造领域，特别是涉及一种匀流装置。

背景技术

目前的硅片制成太阳能电池的主流工序步骤包括：制绒、扩散、刻蚀、镀膜、印刷、烧结等。其中扩散是制备PN结的重要工艺过程，常规扩散方法是将硅片送入石英舟中，并将在载有硅片的石英舟推送入管式扩散炉罐内，将扩散炉升温至第一预设温度，向扩散炉内通入工艺气体，保持温度一定时间；直至源沉积，停止通入工艺气体，间温度调整为第二预设温度，进行源扩散工艺。在扩散、氧化等工艺中都涉及多种气态反应，反应气体通过流量计和阀控制后，从真空管路进入反应腔体。反应气体进入腔体的过程一般都是由小管径的管道进入大腔体，在管道的入口处以及管道的气流流向的路径上容易形成反应气体集中，造成产品上的反应不均匀；另外气流的集中冲击会影响炉管内的局部温度，使炉管内产生局部温差。

另一方面对于不同的管内工艺，对于炉管内反应气体的扩散均匀性有着不同的要求，尤其是对于新的工艺，需要重新进行调试。因此需要一种能够打散气流的匀流装置，而且能够针对不同的工艺进行调试。

发明内容

本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种匀流装置，结构简单，使用方便。

一种匀流装置，包括匀流筒以及支架；匀流筒设置于支架；支架设置于炉管内部；匀流筒包括插片筒和透气板；透气板卡接于插片筒内；透气板上均匀设置有透气孔。

进一步的，所述插片筒包括圆筒以及限位棒，限位棒设置于圆筒的外侧面，限位棒上设置有至少两个圆筒；相邻的圆筒之间间隔设定距离，透气板设置于相邻的圆筒之间。

进一步的，所述支架包括把手以及支撑管，把手设置于支撑管的一端。

进一步的，所述把手呈直线形，在把手的两端设置凸起结构，凸起朝向相同的方向；把手的凸起结构连接有支撑管，支撑管和把手垂直设置。

进一步的，所述支撑管共两根，两根支撑管平行设置；支撑管位于插片筒与炉管之间。

进一步的，所述支架设置于炉管内，把手所处的水平面高于支撑管所处的水平面。

进一步的，所述支架靠近炉管的进气管的一端设置；支架的把手朝向进气管或者背向进气管。

进一步的，所述支撑管的直径加上圆筒的外径一半，与炉管内径的一半相等。

进一步的，所述炉管的尾排管距离炉管轴线的最小距离大于圆筒的外径的一半；同一块透气板上的透气孔孔径一致；不同透气板的透气孔之间孔径不同。

进一步的，所述透气板上的透气孔为发散式排列或者行列式排列。

本实用新型的有益效果为：

通过在炉管的进气管一端设置匀流筒，使进气管输入的反应气体首先通过匀流筒，通过透气板的匀流作用，使反应气体均匀通向炉管内的待加工产品，保证炉管截面内流向硅片的气流均匀；

通过设置透气板于插片筒卡接，能够对透气板进行随意更换，便于进行调试；

通过设置支架，对匀流筒实现支撑，并且通过支架的把手，对匀流筒所处的位置能够进行方便地调节。

附图说明

图1为本实用新型实施例一的整体结构图；

图2为本实用新型实施例一的插片筒与支架的示意图；