[实用新型]一种刮酸装置

说明书

本实用新型为一种刮酸装置，包括接酸盘以及刮片结构；接酸盘设置于炉口的下方以及炉门的待机位置的下方；刮片结构设置于炉门待机位置的接酸盘上；通过在炉门待机位置与炉口之间设置刮片结构，使炉门在打开和关闭时，炉门的底部会经过刮片结构，通过挡板的阻挡作用，使炉门底部汇聚的酸液刮落，并收集在接酸盘中。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造及太阳能光伏电池制造领域，特别是涉及一种刮酸装置。

背景技术

目前的光伏电池片制造设备，比如扩散炉、退火炉、氧化炉、LPCVD、PECVD等大多是采用多管设备，多管设备共用一个净化台和上下料设备，上述的设备都对应各自的工艺，其中扩散是制备PN结的重要工艺。常规的扩散方法是将硅片放入石英舟中，然后将石英舟推入管式扩散炉内；将扩散炉内进行升温，达到第一预设温度，向扩散炉内通入工艺气体，并保持恒定的温度，直至完成源沉积；随后停止通入气体，并将温度调整为第二预设温度，进行源扩散，通常为磷扩散。常规的磷扩散工艺中，是使用三氯氧磷和氧气反应，制得五氧化二磷，由于炉口的温度较低，气态的五氧化二磷会变为粉末状，附着在炉口以及炉门上；当炉门打开时，五氧化二磷粉末会吸收空气中的水汽，产生偏磷酸、磷酸，并汇聚呈液态的水滴滴落。滴落的酸液需要及时进行处理，增加了操作的工艺；如果酸液没有得到及时处理，则会对设备产生危害。因此需要一种能够及时处理酸液的装置。

发明内容

本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种刮酸装置，结构简单，使用方便。

一种刮酸装置，包括接酸盘以及刮片结构；接酸盘设置于炉口的下方以及炉门的待机位置的下方；刮片结构设置于炉门待机位置的接酸盘上。

进一步的，所述刮片结构包括刮酸板、偏心块以及固定支架；刮酸板固定设置于偏心块，偏心块与固定支架铰接，固定支架固定设置于接酸盘。

进一步的，所述刮酸板包括挡片、横板以及连接脚，其中挡片以及连接脚分别设置于横板的两侧。

进一步的，所述挡片呈方形，挡片与横板垂直设置；连接脚共两只，两只连接脚对称设置；连接脚上设置有腰形孔，腰形孔的长度方向与横板垂直。

进一步的，所述偏心块包括连接片以及配重块，配重块固定设置于连接片的一侧。

进一步的，所述配重块呈半圆柱形，配重块的半圆面于连接片固定连接；配重块和连接片之间保持设定间距；在配重块和连接片之间设置刮酸板的连接脚。

进一步的，所述配重块与连接片连接的部位设置为长条结构，长条结构卡于两只连接脚之间。

进一步的，所述配重块与连接片连接的部位设置为长条结构，长条结构卡于两只连接脚之间。

进一步的，所述连接片上的铰接部位位于刮酸板、偏心块整体结构的重心的正上方。

进一步的，所述接酸盘呈方形盘状，接酸盘内部设置为凹陷；刮片结构位于炉门待机位置与炉口之间。

本实用新型的有益效果为：

通过在炉门待机位置与炉口之间设置刮片结构，使炉门在打开和关闭时，炉门的底部会经过刮片结构，通过挡板的阻挡作用，使炉门底部汇聚的酸液刮落，并收集在接酸盘中；

通过设置偏心块，使刮酸结构动作后能够恢复原状，适应炉门打开和关闭时的刮酸动作；

通过在炉口也设置接酸盘，使炉口酸液也能够得到有效的收集，避免对设备产生危害。

附图说明

图1为本实用新型实施例一的装置整体示意图；

图2为本实用新型实施例一的刮片结构示意图；

图3为本实用新型实施例一的刮片结构爆炸图；