[实用新型]一种共用气路的设备

说明书

本实用新型为一种共用气路的设备，包括进气管路以及炉管；进气管路包括总进气管路以及分支进气管路；分支进气管路包括共用分支进气管路；一条共用分支进气管路的进气端与至少一条总进气管路连通；一条共用分支进气管路的出气端与一个炉管组连接；一个炉管组包括两个及两个以上的炉管；通过设置共用分支进气管路实现多管使用同一条进气管道，以及同一组管道上的检测设备，能够减少气路器件，降低硬件成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体及太阳能光伏电池制造领域，特别是涉及一种共用气路的设备。

背景技术

目前的光伏电池制造设备大多采用单管单控的方式，即每个设备的管道有独立控制的气路和电路，不同的管道之间相互不产生影响，这样的好处是当存在管道异常时，其他设备依然能够继续运转。但是随着技术的发展，软件和硬件的稳定性都已经十分成熟，故障率极低，因此目前生产过程中更需要考虑成本的问题。在传统的管道结构中，部分工艺气体的在炉管内反应的使用时间占比极小，大部分时间都是存储在管道中，比如磷扩散的通源气路，需要质量流量计、手动隔膜阀、气动隔膜阀、单向阀、压差控制器、源瓶、恒温槽、接头、管道、压力检测器等多种设备，而每次磷扩散的工艺时间大约90分钟，但是通源时间约为10分钟，占比1/9左右。在传统的管道结构中单管单控，而且单管对应单炉管，这样的结构造成了极高的硬件成本，增加了生产投入，因此需要一种能够降低硬件成本的共用气路设备。

发明内容

本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种共用气路的设备，结构简单，使用方便。

一种共用气路的设备，包括进气管路以及炉管；进气管路包括总进气管路以及分支进气管路；分支进气管路包括共用分支进气管路；一条共用分支进气管路的进气端与至少一条总进气管路连通；一条共用分支进气管路的出气端与一个炉管组连接；一个炉管组包括两个及两个以上的炉管。

进一步的，所述共用分支进气管路包括单一进气管路以及组合进气管路；单一进气管路的进气端与一条总进气管路连通；组合进气管路的进气端与两条及以上的总进气管路连通。

进一步的，所述单一进气管路包括管道，管道上设置有手阀、流量计以及气动阀。

进一步的，所述组合进气管路包括独立部与混合部；独立部与总进气管路对应设置；独立部包括管道，管道设置于总进气管路与混合部之间，在独立部的管道上设置有手阀和流量计。

进一步的，所述混合部设置于两个独立部之间或者独立部与混合部之间。

进一步的，所述混合部包括管路一、管路二以及管路三；管路一、管路二以及管路三的进气端串联，并且与这两个独立部或者独立部与混合部的出气端连接；管路二和管路三的出气端通过气体混合装置连接，气体混合装置的出气端与管道一的出气端通过压差控制器连接。

进一步的，所述管路一、管路二以及管路三上都设置有气动阀，在管路二和管路三的进气端之间还设置有气动阀。

进一步的，所述分支进气管路还包括独立分支进气管路，独立分支进气管路的两端分别连接一条总进气管路以及一个炉管。

本实用新型的有益效果为：

通过设置共用分支进气管路实现多管使用同一条进气管道，以及同一组管道上的检测设备，能够减少通源气路器件，降低硬件成本；

通过在共用分支进气管路的进气端连接两条及以上的总进气管道，实现气体的混合通气，进一步减少通源气路器件，降低硬件成本；

通过设置独立分支进气管道，满足特殊气体的单独进气要求。

附图说明

图1为本实用新型实施例一的六炉管的结构示意图；

图2为本实用新型实施例一的单一进气管路示意图；

图3为本实用新型实施例一的组合进气管路示意图。