[实用新型]一种旋转靶材吊装装置

说明书

本实用新型公开了一种旋转靶材吊装装置，包括，腔盖体；吊板；固定环板；限位环；旋转靶材；固定板；所述旋转靶材内侧固设有内衬管，所述内衬管延伸至所述旋转靶材端部外侧；所述内衬管外侧配置有固定环板；所述固定板内置于所述内衬管内部且被配置为与内衬管相互固定；所述固定环板位于内衬管外部并与内衬管外侧固定连接；所述腔盖体罩合在所述吊板、限位环和固定环板上，在吊装装置进行吊装的过程中，所述腔盖体内部两侧分别与所述吊板和所述固定环板抵触和抱紧。本实用新型可以对在对旋转靶材加工过程中，一些尺寸规格较大的旋转靶材、工人进行搬运较为困难的旋转靶材进行有限稳定的吊起和搬运。

【技术领域】

本实用新型涉及靶材领域，特别涉及一种旋转靶材吊装装置。

【背景技术】

溅射镀膜工艺广泛应用于集成电路、磁记录、刀具、平面显示器以及玻璃表面涂层等领域，随着表面镀膜技术的不断发展，溅射靶材这一具有高附加值的功能材料的需求量也逐年增多，因此需要不断提高溅射靶材的利用效率，减少靶材的消耗，降低成本，保护环境；旋转靶材是磁控的靶材，靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动。

在对旋转靶材加工过程中，对于尺寸较小的旋转靶材，可以依靠工人对旋转靶材进行搬运，然后对于一些尺寸规格较大的旋转靶材，仅仅依靠工人进行搬运较为困难。

为此，我们提出一种旋转靶材吊装装置。

【实用新型内容】

本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足，包括，腔盖体；吊板；固定环板；限位环；旋转靶材；固定板；所述旋转靶材内侧固设有内衬管，所述内衬管延伸至所述旋转靶材端部外侧；所述内衬管外侧配置有固定环板；限位环固设在固定环板外侧起到限制固定环板从所述内衬管端部脱离；所述固定板内置于所述内衬管内部且被配置为与内衬管相互固定；所述固定环板位于内衬管外部并与内衬管外侧固定连接；所述腔盖体罩合在所述吊板、限位环和固定环板上，在吊装装置进行吊装的过程中，所述腔盖体内部两侧分别与所述吊板和所述固定环板抵触和抱紧，对在对旋转靶材加工过程中，一些尺寸规格较大的旋转靶材、工人进行搬运较为困难的旋转靶材进行有限稳定的吊起和搬运。

为达到上述目的/为解决上述技术问题，本实用新型是采用下述技术方案实现的：一种旋转靶材吊装装置，包括，腔盖体；吊板；固定环板；限位环；旋转靶材；固定板；

所述旋转靶材内侧固设有内衬管，所述内衬管延伸至所述旋转靶材端部外侧；

所述内衬管外侧配置有固定环板；限位环固设在固定环板外侧起到限制固定环板从所述内衬管端部脱离；

所述固定板内置于所述内衬管内部且被配置为与内衬管相互固定；所述固定环板位于内衬管外部并与内衬管外侧固定连接；

所述腔盖体罩合在所述吊板、限位环和固定环板上，在吊装装置进行吊装的过程中，所述腔盖体内部两侧分别与所述吊板和所述固定环板抵触和抱紧。

可选地，所述内衬管外侧配置有用于卡放限位环的限位槽。

可选地，所述固定板设置有螺纹柱，所述吊板设置有与所述螺纹柱适配的螺纹孔。

可选地,所述腔盖体数量为两个，两个所述腔盖体合围而成一个整体罩合在所述吊板、限位环和固定环板上。

可选地，两个所述腔盖体外侧均固设有连接板，所述连接板设置有螺纹通孔，两个所述腔盖体外侧均固设有的连接板利用固定螺栓贯穿螺纹通孔实现固定。

可选地，所述腔盖体内壁两侧具有倾斜度。

可选地，所述吊板和所述固定环板与所述腔盖体内壁抵触位置也设置有倾斜度。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：