[实用新型]一种高精度物镜调焦用位移平台

权利要求书

1.一种高精度物镜调焦用位移平台，其特征在于，包括底座和滑台，所述滑台通过滑动组件滑动式安装在所述底座的顶面，所述底座的顶面设有凹槽，所述凹槽内设有直线电机；所述直线电机的定子组件安装在凹槽内，动子组件与滑台固定连接，用于驱动所述滑台在底座顶面滑移；所述底座和滑台的外侧壁还设有限位组件和平衡组件。

2.根据权利要求1所述的一种高精度物镜调焦用位移平台，其特征在于，所述限位组件包括第一限位块、第二限位块和第三限位块，所述第一限位块、第二限位块安装在底座外侧壁的顶部，所述第三限位块安装在滑台外侧壁上，且所述第三限位块位于第一限位块和第二限位块之间。

3.根据权利要求2所述的一种高精度物镜调焦用位移平台，其特征在于，所述第一限位块、第二限位块均为“凸”字形。

4.根据权利要求1所述的一种高精度物镜调焦用位移平台，其特征在于，所述平衡组件包括气缸、安装板和连接板，所述安装板安装在底座的外侧壁上，所述气缸安装在安装板上；所述连接板一端与滑台的外侧壁连接，另一端与气缸的活塞杆连接；所述气缸的轴向与滑台沿底座顶面的滑动方向平行。

5.根据权利要求4所述的一种高精度物镜调焦用位移平台，其特征在于，所述底座的外侧壁内凹形成安装槽，所述气缸安装在安装槽内。

6.根据权利要求1所述的一种高精度物镜调焦用位移平台，其特征在于，所述凹槽的内侧壁设有光栅尺带，所述滑台底部设有光栅尺读数头，所述光栅尺读数头的位置与光栅尺带的位置相配。

7.根据权利要求1所述的一种高精度物镜调焦用位移平台，其特征在于，所述滑动组件包括交叉滚子导轨，所述交叉滚子导轨设有两组，两组所述交叉滚子导轨对称式安装在所述底座的顶面两侧。

8.根据权利要求1所述的一种高精度物镜调焦用位移平台，其特征在于，所述凹槽底面设有线缆固定槽，用于固定安装线缆组件。