[实用新型]一种提高分离良率的辅助装置有效
| 申请号： | 202023320302.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN213814286U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266109 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 分离 辅助 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高分离良率的辅助装置，其特征在于：包括腔室(1)，所述腔室(1)的内腔侧壁上固定安装有固定板(2)和安装板(6)，所述固定板(2)的顶部设有离子风扇(3)，所述离子风扇(3)的输入端连接有气管(4)，所述离子风扇(3)的输入端通过气管(4)连接有氮气瓶(5)，所述安装板(6)的中部设有螺孔(7)，所述螺孔(7)内螺接有螺柱(8)，所述螺柱(8)的底端贴合有立柱(9)，所述立柱(9)的底端固定安装有压板(10)，所述压板(10)的底部紧密贴合在离子风扇(3)的外壳顶部，所述压板(10)的顶部左右两侧均设有限位件(11)。
2.根据权利要求1所述的一种提高分离良率的辅助装置，其特征在于：所述螺柱(8)的底端设有半球面(12)。
3.根据权利要求1所述的一种提高分离良率的辅助装置，其特征在于：所述压板(10)的顶部左右两侧均固定安装有弹簧(13)，所述弹簧(13)的顶端固定安装在安装板(6)的底部。
4.根据权利要求1所述的一种提高分离良率的辅助装置，其特征在于：所述限位件(11)包括立杆(14)，所述立杆(14)的底端固定安装在压板(10)的顶部，所述安装板(6)的底部左右两侧均设有滑孔(15)，所述立杆(14)的侧壁与滑孔(15)的内侧壁相对滑动。
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