[实用新型]一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构

说明书

本实用新型公开了一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构，涉及真空镀膜技术领域，为解决现有的回转机构通常悬置于镀膜设备内部，导致安装的不够稳定，长时间使用后其旋转时稳定性较差的问题。所述转盘的上方安装有支撑杆，所述支撑杆的上方安装有保持架，所述转盘的安装有下连接座，所述下连接座的下端设置有传动轴，所述传动轴下端的外部安装有第一齿轮，所述第一齿轮的一侧安装有第二齿轮，所述第二齿轮的上方安装有第三齿轮，所述第三齿轮的另一侧安装有第四齿轮，所述第四齿轮的下方安装有驱动电机，所述保持架包括内撑架、外撑架、通槽、滚槽、滚珠和上连接座，所述支撑杆的外侧安装有工件架。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构。

背景技术

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术。真空镀膜是将真空室内材料的原子从加热源离析出来，溅射到被镀物体的表面上，从而形成一层薄膜。回转机构是真空镀膜设备上必不可少的机构之一。通过回转机构带动被镀物体旋转，能使镀膜材料很好地溅射在被镀物体表面。通过回转机构的使用，有效提高了真空镀膜设备的工作效率。

但是，现有的回转机构通常悬置于镀膜设备内部，导致安装的不够稳定，长时间使用后其旋转时稳定性较差，因此不满足现有的需求，对此我们提出了一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构，以解决上述背景技术中提出的回转机构通常悬置于镀膜设备内部，导致安装的不够稳定，长时间使用后其旋转时稳定性较差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构，包括转盘，所述转盘的上方安装有支撑杆，所述支撑杆的上方安装有保持架，且支撑杆与转盘和保持架焊接连接，所述转盘的安装有下连接座，所述下连接座的下端设置有传动轴，所述传动轴下端的外部安装有第一齿轮，所述第一齿轮的一侧安装有第二齿轮，所述第二齿轮的上方安装有第三齿轮，所述第三齿轮的另一侧安装有第四齿轮，所述第四齿轮的下方安装有驱动电机，且驱动电机的输出端与第四齿轮固定连接，所述保持架包括内撑架、外撑架、通槽、滚槽、滚珠和上连接座，所述支撑杆的外侧安装有工件架，且工件架安装有五个。

优选的，所述外撑架设置于内撑架的外侧，并与内撑架为一体结构，所述通槽设置于外撑架的内部，且通槽设置有五个，所述滚槽设置于通槽的外侧，所述滚珠设置于通槽的内部，并与通槽间隙连接，所述滚珠的一端延伸至通槽的外部，所述工件架的上端延伸至通槽的内部，并与滚珠贴合连接，所述上连接座设置于内撑架的顶端。

优选的，所述转盘的内部设置有大安装槽，所述大安装槽的外侧设置有小安装槽，且小安装槽设置于五个，所述工件架的下端延伸至小安装槽的内部，并安装有第六齿轮。

优选的，所述下连接座的上端设置有连接轴，且连接轴延伸至大安装槽的内部，并安装有第五齿轮，所述第五齿轮与五个第六齿轮均啮合连接，所述连接轴与转盘焊接连接。

优选的，所述第一齿轮与第二齿轮啮合连接，所述第三齿轮与第四齿轮啮合连接，所述第二齿轮和第三齿轮之间的内部设置有连接杆。

优选的，所述工件架与转盘通过轴承转动连接，所述下连接座与转盘焊接连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过转盘的上方设置支撑杆，支撑杆的顶部安装保持架，保持架的顶端设置上连接座，转盘的底部设置下连接座，通过上连接座和下连接座实现与真空镀膜设备上下端的连接，由此可避免回转机构悬置于真空镀膜设备内部，通过保持架的设置，可避免工件架悬置设置，由此可提高回转机构整体以及工件架安装的稳定性，进而能让回转机构和工件架在旋转过程中更加稳定，可提高镀膜质量。