[实用新型]一种惰性气体纯化器

说明书

本实用新型公开了一种惰性气体纯化器，包括进气罩、加热箱、过滤吸附箱、冷却箱、保温箱和出气罩，所述加热箱内设有L型管，所述L型管通过导气管与进气罩和过滤吸附箱相连接，所述L型管的外壁上缠绕设有加热线圈，所述加热箱的内部设有加热器。本实用新型通过设置有进气罩、加热箱、过滤吸附箱、冷却箱、保温箱和出气罩，从而可以通过加热箱内的L型管外壁上的加热线圈以及加热器工作对惰性气体进行加热提高纯化效率，通过呈倾斜向下设置且倾斜方向相反的第一导向板和第二导向板以及第一过滤网板和第二过滤网板，从而可以对惰性气体经有效的过滤提高钝化质量。

技术领域

本实用新型涉及气体纯化技术领域，具体涉及一种惰性气体纯化器。

背景技术

现有气体纯化技术原理主要有催化氧化、物理吸附、化学吸附, 其中催化氧化需要将气体加热至一定的温度，催化剂才能将杂质气体进行催化氧化,物理吸附大多采用分子筛吸附，能有效去除杂质CO₂、 H₂O，纯化进程在高温下可逆，而且可以进行分子筛再生,化学吸附则利用杂质中气体与纯化塔内填料发生化学反应，除去杂质,多数气体纯化设备只适用于纯化单一种类气体，而不适用于多种气体的纯化。

现如今，半导体、电子、航空等领域对气体的纯度要求较高，需要大批量的超高纯电子级气体。空分或化学反应制造的气体纯度很难满足生产需求，半导体、电子领域用气多数为经净化后的瓶装气体。目前多数净化装置只能净化单一气体，很难满足多种气体的净化，对于多元化气体生产厂家，采购多台设备净化气体，一定程度上购买成本较高，且占地面积较大，想实现生产线式净化较难。这就导致净化效率较低，气体净化只适用于小批量特殊气体的净化，而对于超高纯气体批量化生产显得尤为艰难。

因此，发明一种惰性气体纯化器来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种惰性气体纯化器，通过设置有进气罩、加热箱、过滤吸附箱、冷却箱、保温箱和出气罩，从而可以通过加热箱内的L型管外壁上的加热线圈以及加热器工作对惰性气体进行加热提高纯化效率，通过呈倾斜向下设置且倾斜方向相反的第一导向板和第二导向板以及第一过滤网板和第二过滤网板，从而可以对惰性气体经有效的过滤提高钝化质量，以解决技术中的上述不足之处。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种惰性气体纯化器，包括进气罩、加热箱、过滤吸附箱、冷却箱、保温箱和出气罩，所述进气罩的一端通过导气管与加热箱的一侧相连接，所述加热箱的底部通过导气管与过滤吸附箱的顶部一侧相连接，所述过滤吸附箱的底部一侧通过导气管与冷却箱的顶部一侧相连接，所述冷却箱的底部一侧通过导气管与保温箱的顶部一侧相连接，所述保温箱的底部一侧通过导气管连接有出气罩，所述加热箱内设有L型管，所述L 型管通过导气管与进气罩和过滤吸附箱相连接，所述L型管的外壁上缠绕设有加热线圈，所述加热箱的内部设有加热器，所述加热器通过导线与加热线圈电性连接。

优选的，所述加热箱靠近过滤吸附箱的一侧通过导气管连接有第一电磁阀，所述过滤吸附箱靠近冷却箱的一侧通过导气管连接有第二电磁阀。

优选的，所述冷却箱靠近保温箱的一侧通过导气管连接有第三电磁阀，所述保温箱靠近出气罩的一侧通过导气管连接有第四电磁阀。

优选的，所述冷却箱的顶端通过导气管连接有流量计，所述流量计的一侧通过导气管连接有冷却设备。

优选的，所述冷却设备的一侧设有控制机箱面板，所述控制机箱面板通过导线与流量计、第四电磁阀、第三电磁阀、第二电磁阀和第一电磁阀电性连接。

优选的，所述过滤吸附箱，所述过滤吸附箱的内部从上到下设有两组过滤组件，每组所述过滤组件均包括有第一导向板和第二导向板，所述第一导向板和第二导向板均呈倾斜向下设置，且所述第一导向板和第二导向板的倾斜方向相反。