[实用新型]太阳能电池板除气测试装置有效
申请号: | 202023325483.2 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN213988827U | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 戴建新;戴科晨 | 申请(专利权)人: | 常熟市虞华真空设备科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L31/18 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 张俊范 |
地址: | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能 电池板 测试 装置 | ||
1.一种太阳能电池板除气测试装置,包括真空室,其特征在于,所述真空室内设有红外灯阵、高低温热沉和基台,所述基台固定于所述真空室的内壁并伸入所述高低温热沉,所述红外灯阵设置于所述基台上位于所述高低温热沉内,所述红外灯阵包括灯阵架和红外灯模组,所述灯阵架包括长方框架,所述长方框架的背侧面设有矩阵式布置的若干红外灯模组,所述红外灯模组包括反射罩和红外灯,所述反射罩固定连接于所述长方框架,所述红外灯固定安装于所述反射罩的前方,所述反射罩的截面呈梯形弯折,所述长方框架的前侧面设置若干太阳能电池板挂钩,所述挂钩下端与太阳能电池板固定连接。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池板除气测试装置,其特征在于,所述真空室的内壁的顶部固定连接有限位柱,所述限位柱伸入所述高低温热沉以限制所述长方框架的顶部位置。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池板除气测试装置,其特征在于,所述长方框架的背侧面设有若干竖直立柱,所述红外灯模组固定安装于所述竖直立柱。
4.根据权利要求3所述的太阳能电池板除气测试装置,其特征在于,所述反射罩通过连接组件固定于所述竖直立柱,所述连接组件包括套管和连接板,所述套管套设于所述竖直立柱,所述套管上设有锁定螺钉,所述连接板横置并与所述套管固定连接,所述连接板上开设横向条形孔,所述反射罩通过螺栓连接于所述横向条形孔。
5.根据权利要求1所述的太阳能电池板除气测试装置,其特征在于,所述基台上设置横向导轨,所述长方框架的底部设有与所述横向导轨配合的滚轮。
6.根据权利要求1所述的太阳能电池板除气测试装置,其特征在于,包括抽真空泵组,所述抽真空泵组包括干式真空泵、粗抽阀、第一高真空抽气支路、第二高真空抽气支路和低温抽气支路,所述干式真空泵与所述粗抽阀连接,所述粗抽阀通过金属波纹管与所述真空室连接,所述第一高真空抽气支路、第二高真空抽气支路和低温抽气支路均与所述粗抽阀并联设置。
7.根据权利要求6所述的太阳能电池板除气测试装置,其特征在于,所述第一高真空抽气支路包括依次连接的第一主抽阀、第一分子泵和第一前级阀,所述第二高真空抽气支路包括依次连接的第二主抽阀、第二分子泵和第二前级阀,所述低温抽气支路包括依次连接的第三主抽阀、低温泵和预抽阀。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造