[实用新型]电子气体水含量取样器

说明书

本申请涉及电子气体水含量取样器，其包括进样管、吹扫管，进样管和吹扫管在端部相互连通，进样管的另一端与测量仪本体连通，吹扫管的另一端连通有惰性气体气源或待测气体气源；进样管和吹扫管的连接处还连通有若干样品管，样品管的另一端与待测气体气源相互连通；进样管上设置有一进样阀，吹扫管上设置有一吹扫阀，样品管上设置有一样品阀。本申请具有提高电子气体水含量测定工作连续性的效果。

技术领域

本申请涉及电子气体检测的领域，尤其是涉及电子气体水含量取样器。

背景技术

电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”，它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。

因此，电子气体在出厂前需要对其含水量等指标进行检测，相关领域中电子气体含水量的检测时常使用微量水分测量仪，在检测时，首先使用惰性气体如氮气对微量水分测量仪进行吹扫，然后将装有待测气体的气瓶与微量水分测量仪相连，然后通过旋拧瓶口阀门，从而调节气瓶的出口气压达到微量水分测量仪所需值，待测气体经过微量水分测量仪后测得气体的含水量。

然而当工作人员需要对多瓶气体进行测量时，工作人员每测定完成一气瓶后需要更换气瓶，此时微量水分测量仪需要停机等待，并且在连接新的气瓶之前还需要重新进行吹扫，上述操作流程繁琐，并且影响测定工作的连续性，从而影响工作效率。

实用新型内容

为了提高电子气体水含量测定工作的连续性，本申请提供电子气体水含量取样器。

本申请提供的电子气体水含量取样器采用如下的技术方案：

电子气体水含量取样器，包括进样管、吹扫管，进样管和吹扫管在端部相互连通，进样管的另一端与测量仪本体连通，吹扫管的另一端连通有惰性气体气源或待测气体气源；进样管和吹扫管的连接处还连通有若干样品管，样品管的另一端与待测气体气源相互连通；进样管上设置有一进样阀，吹扫管上设置有一吹扫阀，样品管上设置有一样品阀。

通过采用上述技术方案，工作人员可以将氮气气瓶连接在吹扫管上，并对取样器以及测量仪本体进行吹扫，然后在样品管上连接待测气瓶，关闭吹扫管后，待测气体吹入取样器内，并被设置在取样器末端的测量仪本体检测。此时工作人员可以将另一待测气瓶安装在吹扫管。待上一待测气瓶检测完成后，工作人员可以通过控制阀门的开闭，从而控制吹扫管处的待测气体吹入测量仪本体从而使得检测可以连续进行，提高了工作效率。

可选的，所述样品管至少设置有两个。

通过采用上述技术方案，样品管至少设置有两个，从而使得工作人员不必对吹扫管处的氮气瓶进行拆卸，从而提高了使用的便捷性。

可选的，所述进样管与测量仪本体之间还设置有一用于对吹入测量仪本体的气体进行过滤的过滤器。

通过采用上述技术方案，由于管道与阀门，气瓶之间的连接采用螺纹连接，更换气瓶旋拧管道时产生的金属颗粒对测量仪本体的检测精度有影响，过滤器的设置，减少了金属颗粒以及气体中其他杂质进入测量仪本体内部，从而提高了测量仪本体对待测气体内部水分含量测定的准确性。

可选的，所述过滤器与测量仪本体之间还设置有一减压阀。

通过采用上述技术方案，当气体通过过滤器后，气体的气压发生波动，过滤器后方减压阀的设置，将气压调节至测量仪本体所需的工作气压，并使得气压处于稳定状态，当更换待测气瓶时，减压阀控制输出的气压保持稳定状态，从而提高了测量的稳定性。

可选的，还包括安装板，安装板上设置有用于对进样管、吹扫管、样品管进行固定的抱箍，抱箍包括弧形的固定部，设置在固定板两侧的连接边沿，连接边沿与安装板通过螺栓连接。