[实用新型]一种碲锌镉排气台管路挠度补偿机构

说明书

本申请公开了一种碲锌镉排气台管路挠度补偿机构，涉及排气台用辅助件的技术领域，其包括固设于排气台主体上的托架，托架水平设置，托架抵接于排气管路底端，托架背向排气台主体的一端自下而上穿设有补偿螺栓，补偿螺栓螺纹连接于托架，补偿螺栓顶端抵接于排气管路底端的中间位置。本申请具有减少了排气管路因挠度过大造成连接口倾斜，进而导致适应玻璃管破损的情况的出现，减少了对正常工序产生的影响的效果。

技术领域

本申请涉及排气台用辅助件的技术领域，尤其是涉及一种碲锌镉排气台管路挠度补偿机构。

背景技术

碲锌镉是一种半导体材料，由碲、锌、镉三种元素组成，在碲锌镉的加工生产中，需要对其进行除气及高温处理。碲锌镉排气台是一种真空设备，为碲锌镉的除气及高温处理过程提供真空环境。

如图1所示，相关技术中的排气台通常包括排气台主体1，排气台主体1顶端设置有多个手动角阀11，手动角阀11上连通有排气管路12，排气管路12水平设置，排气管路12背向手动角阀11的一端设置有连接口121，连接口121竖直向下设置，排气管路12上连通有充气管122。连接口121处连接有用于放置工件的工装，工装通常为竖向设置的石英玻璃管。

在实际使用的过程中，由于石英玻璃管的自重较重，若石英玻璃管出现倾斜，则容易因斜向作用力导致石英玻璃管的破损，影响工序的正常进行。但排气管路12伸出于排气台主体1的一端长度较长，存在一定的挠度，排气管路12很难保持水平的状态。

实用新型内容

为了减少排气管路因挠度过大造成连接口倾斜的情况的发生，本申请提供一种碲锌镉排气台管路挠度补偿机构。

本申请提供的一种碲锌镉排气台管路挠度补偿机构采用如下的技术方案：

一种碲锌镉排气台管路挠度补偿机构，包括固设于排气台主体上的托架，所述托架水平设置，所述托架抵接于排气管路底端，所述托架背向排气台主体的一端自下而上穿设有补偿螺栓，所述补偿螺栓螺纹连接于托架，所述补偿螺栓顶端抵接于排气管路底端的中间位置。

通过采用上述技术方案，使用时，调整补偿螺栓，对排气管路施加竖直向上的作用力，使连接口竖直向下设置，对排气管路的挠度进行补偿，同时，托架对排气管路起到了支撑加强作用，减少了排气管路因挠度过大造成连接口倾斜，进而导致适应玻璃管破损的情况的出现，减少了对正常工序产生的影响。

优选的，所述托架沿排气管路长度方向靠近排气台主体的一端设置有内管夹，所述托架的另一端设置有外管夹，所述内管夹和外管夹均套设于排气管路外侧，所述内管夹和外管夹均通过连接螺栓和连接螺母的配合压紧于托架。

通过采用上述技术方案，拧紧内管夹上的连接螺母，使内管夹压紧于排气管路外侧，调整补偿螺栓使连接口竖直向下设置之后，再拧紧外管夹上的连接螺母，使外管夹压紧于排气管路外侧，对排气管路起到了进一步的支撑。

优选的，所述托架底端固设有加强架，所述补偿螺栓依次穿过加强架和托架且螺纹连接于托架上。

通过采用上述技术方案，对托架起到了加强作用，进一步增加了托架的稳定性。

优选的，所述排气台主体上固设有斜撑杆，所述斜撑杆背向排气台主体的一端通过固定夹夹紧于排气管路外侧。

通过采用上述技术方案，对排气管路起到了进一步的支撑作用，减少了连接口倾斜的情况的出现。

优选的，所述固定夹铰接于斜撑杆，所述固定夹与斜撑杆之间的铰接轴水平设置且与排气管路的轴向垂直。

通过采用上述技术方案，使固定夹有一定的自由度，便于固定夹随排气管路的挠度变化而转动。

优选的，所述补偿螺栓顶端设置有弧形的抵接板，所述抵接板抵接于排气管路的外周面。