[实用新型]单晶导流筒

说明书

本实用新型涉及一种单晶导流筒，包括导流筒内胆、导流筒隔热层和导流筒外壳，导流筒内胆安装在导流筒外壳内，导流筒内胆和导流筒外壳之间设有空腔，导流筒隔热层安装在空腔中，导流筒内胆由高纯石英材料制作形成，由于导流筒内胆的材质和单晶硅的材料相近，提高了单晶硅棒的产品品质，导流筒外壳由等静压石墨材料制作形成，能够在高温环境下承受导流筒内胆和导流筒隔热层而完成拉晶作业，导流筒隔热层由固话毡材料制作形成，有效控制整体热量传递至导流筒内胆而造成导流筒内胆因高温烧化变形。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，尤其涉及一种单晶导流筒。

技术背景

现阶段直拉单晶领域，主要应用于太阳能及半导体方面，拉晶技术采用CZ拉晶方法，由于拉晶过程中是热交换过程，拉晶炉顶部通入氩气，由氩气形成过冷度，形成液态到固态的转变，并且由于导流筒作用形成内外温差梯度，使拉晶过程中更容易形成晶核。

传统意义导流筒内部选用耐高温材料石墨/钼材质，由于高温状态下石墨与钼均有一定的挥发性，所拉制的单晶硅棒会受上述材料影响拉晶品质。

实用新型内容

本实用新型内容的主要目的在于提供一种提高拉晶品质的单晶导流筒。

一种单晶导流筒，包括导流筒内胆、导流筒隔热层和导流筒外壳，导流筒内胆、导流筒隔热层和导流筒外壳上下端均设有上端口和下端口，导流筒内胆安装在导流筒外壳内，导流筒内胆和导流筒外壳之间设有空腔，导流筒隔热层安装在空腔中，导流筒内胆由高纯石英材料制作形成，导流筒外壳由等静压石墨材料制作形成，导流筒隔热层由固话毡材料制作形成。

优选的，导流筒内胆的下端口和导流筒外壳的下端口通过插接结构相连接。

优选的，导流筒内胆的下端口设有多个第一凹槽，该第一凹槽自导流筒内胆下端口的端面朝导流筒内胆上端口设置。

优选的，导流筒外壳的下端口设有和第一凹槽数量相对应的第一凸块，该第一凸块设置在导流筒外壳下端口内侧壁上且朝导流筒外壳的上端口，导流筒内胆的第一凹槽和导流筒外壳的第一凸块插接配合。

优选的，导流筒内胆的下端口设有多个第二凸块，该第二凸块设置在导流筒内胆下端口的端面上，第二凸块与导流筒下端口的端面垂直。

优选的，导流筒外壳的下端口设有和第二凸块数量相对应的第二凹槽，该第二凹槽设置在导流筒外壳下端口内侧壁上，导流筒内胆的第二凸块和导流筒外壳的第二凹槽插接配合。

上述单晶导流筒中，导流筒内胆安装在导流筒外壳内，导流筒内胆和导流筒外壳之间设有空腔，导流筒隔热层安装在空腔中，导流筒内胆由高纯石英材料制作形成，由于导流筒内胆的材质和单晶硅的材料相近，提高了单晶硅棒的产品品质，导流筒外壳由等静压石墨材料制作形成，能够在高温环境下承受导流筒内胆和导流筒隔热层而完成拉晶作业，导流筒隔热层由固话毡材料制作形成，有效控制整体热量传递至导流筒内胆而造成导流筒内胆因高温烧化变形。

附图说明

图1是单晶导流筒立体结构图。

图2是图1的俯视图。

图3是图2的A-A处剖视图。

图4是导流筒内胆立体结构图。

图5是导流筒外壳立体结构图。

图6为另一实施例导流筒内胆立体结构图。

图7是与图6配套的导流筒外壳立体结构图。

图中：单晶导流筒10、导流筒内胆1、第一凹槽11、第二凹槽12、导流筒隔热层2、导流筒外壳3、第一凸块31、第二凸块32。

具体实施方式

以下结合本实用新型的附图，对实用新型实施例的技术方案及技术效果做进一步的详细阐述。