[实用新型]一种湿法用液体导流板

说明书

本实用新型涉及半导体湿法工艺领域，公开了一种湿法用液体导流板，其技术方案要点是包括由横板和导流板组成，横板上设置有固定部，固定部用以将横板固定连接在外槽体其中一侧面的顶端，导流板与横板一端固定连接，且导流板倾斜设置，导流板底面与横板底面形成的夹角包括第一夹角和第二夹角，第一夹角位于第二夹角的下方，且第一夹角为钝角，通过设置的横板能够接住从机械手臂上溢流出来的液体，通过设置的固定部能够将横板固定在外槽体上，通过设置的导流板能够将溢流的液体导向收集槽中，通过设置的第一夹角为钝角能够保证液体顺利的流向收集槽中。

技术领域

本实用新型涉及半导体湿法工艺领域，更具体的说是涉及一种湿法用液体导流板。

背景技术

在半导体湿法工艺领域，藉由晶园传输机构如机械手系统将单片、批量式晶圆或着装载晶圆的晶圆盒(花篮)在湿法工艺区间进行传递输送，其晶圆完成湿法工艺区间需要进行清洗的动作，而后进行晶圆干燥，在完整的晶圆湿法工艺强调对表面洁净度与降低单位面积下颗粒度的呈现，在晶圆传递的过程，其最后进入晶圆干燥的步骤，一旦环境操作条件无法达到良好的控制，易使前段湿法工艺的清洁度无效而产生交叉污染，与表面洁净度下降以及颗粒数增加的问题产生；

在湿法工艺设备的清洗工艺区端与晶圆干燥模组区中，晶圆经过清洗过后进入晶圆干燥模组过程中，干燥模组中包括内槽体和外槽体，内槽体设置在外操体内，且内槽体与外槽体之间形成有容纳空间，容纳空间内设置有收集槽，外槽体顶面上开设有安装孔，晶圆干燥完成后可能会因为机械手臂的夹臂所夹带的液体溢流进入内槽体从而造成干燥后的晶圆再次沾到水汽，造成对晶圆的二次污染，溢出的液体不易被导入收集槽内。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种湿法用液体导流板，用于将液体通过液体导流板能够将溢流的液体导向收集槽内。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种湿法用液体导流板，由横板和导流板组成，所述横板上设置有固定部，所述固定部用以将所述横板固定连接在外槽体其中一侧面的顶端，所述导流板与所述横板一端固定连接，且所述导流板倾斜设置，所述导流板底面与所述横板底面形成的夹角包括第一夹角和第二夹角，所述第一夹角位于所述第二夹角的下方，且所述第一夹角为钝角。

在本实用新型中，优选的，所述导流板包括第一引流面和第二引流面，所述第一引流面与所述横板顶面相互连接，所述第二引流面与所述第一引流面相互连接，且所述第二引流面垂直于所述横板顶面。

在本实用新型中，优选的，所述第一引流面与所述横板顶面之间一体形成有第一过渡部，所述第一过渡部用以将液体从所述横板导向所述第一引流面，所述第一引流面与所述第二引流面之间一体形成有第二过渡部，所述第二过渡部用以将液体从所述第一引流面导向第二引流面。

在本实用新型中，优选的，所述固定部包括定位孔，所述定位孔开设在所述横板顶面，所述定位孔与外槽体上的安装孔一一对应。

在本实用新型中，优选的，还包括定位部，所述定位部由第一定位面和第二定位面组成，所述第一定位面垂直于所述第二定位面，所述第一定位面用以与外槽体顶面抵接，所述第二定位面用以与外槽体内侧壁抵接。

在本实用新型中，优选的，所述横板与所述导流板均由聚偏二氟乙烯PVDF 或者聚四氟乙烯PTFE制成。