[实用新型]一种陶瓷基高精密叉指电极

权利要求书

1.一种陶瓷基高精密叉指电极，从下往上依次包括基底、导电内层和反应层，其中所述基底表面设有所述导电内层，所述导电内层外表面设有所述反应层，其特征在于，所述基底的厚度为0.38mm，所述导电内层的厚度为7.1～15.1μm，所述反应层厚度为1.0μm；所述反应层外表面还设有修饰层，所述修饰层厚度为3.0μm。

2.根据权利要求1所述的陶瓷基高精密叉指电极，其特征在于，所述导电内层从下往上依次为Ti层，Cu层和Ni层，其中所述Ti层厚度为0.1μm，所述Cu层厚度为5～10μm，所述Ni层厚度为2～5μm。

3.根据权利要求1所述的陶瓷基高精密叉指电极，其特征在于，所述反应层为Au、Ag、Pt中的一种。

4.根据权利要求1所述的陶瓷基高精密叉指电极，其特征在于，所述基底上固定设有相互之间平行等距的长引脚，分别为第一引脚和第二引脚，所述第一引脚和所述第二引脚的下端部延伸至所述基底的下端构成两个引脚端点；所述第一引脚的上端部和所述第二引脚的上端部之间分别设置有相互之间平行等距且与引脚方向垂直的叉指条，所述第一引脚的叉指条和所述第二引脚的叉指条以齿梳状交错排列，所述第二引脚的叉指条设置在所述第一引脚的叉指条的间隙中，且间隔距离相同。

5.根据权利要求1所述的陶瓷基高精密叉指电极，其特征在于，所述基底上固定设有相互之间平行等距的长引脚，分别为第一引脚和第二引脚，所述第一引脚和所述第二引脚的上下端部延伸至所述基底的上下两端构成两个上引脚端点和两个下引脚端点；所述第一引脚的中端部和所述第二引脚的中端部之间分别设置有相互之间平行等距且与引脚方向垂直的叉指条，所述第一引脚的叉指条和所述第二引脚的叉指条以齿梳状交错排列，所述第二引脚的叉指条设置在所述第一引脚的叉指条的间隙中，且间隔距离相同。

6.根据权利要求4或5所述的陶瓷基高精密叉指电极，其特征在于，所述第一引脚的叉指条和所述第二引脚的叉指条的距离为75～100μm。

7.根据权利要求4或5所述的陶瓷基高精密叉指电极，其特征在于，所述第一引脚的叉指条和所述第二引脚的叉指条的宽度相同，均为75～100μm。