[实用新型]一种湿法用承液槽体有效
申请号: | 202023340708.1 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN213936133U | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 孙嘉艺;邓信甫;国天增;刘大威;陈丁堃 | 申请(专利权)人: | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人: | 刘富艳 |
地址: | 200000 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 湿法 用承液槽体 | ||
1.一种湿法用承液槽体,包括槽体(1),所述槽体(1)设置容纳空间内,所述槽体(1)底壁面上开设有连接孔(2),所述连接孔(2)用以与排液管相互连通,其特征在于:所述槽体(1)内水平设置有横板(3),所述横板(3)将所述槽体(1)分割成第一容纳腔(4)和第二容纳腔(5),所述第一容纳腔(4)位于所述第二容纳腔(5)上方,所述槽体(1)相对的两内侧面上分别设置有第一导流部(6)和第二导流部(7),且所述第一导流部(6)与所述第二导流部(7)均位于所述第二容纳腔(5)内,所述第一导流部(6)和所述第二导流部(7)均用以将液体导向所述连接孔(2),所述横板(3)上开设有第一导流孔(8)和第二导流孔(9),所述第一导流孔(8)与所述第一导流部(6)位于同一侧,所述第二导流孔(9)与所述第二导流部(7)位于同一侧,所述横板(3)顶面上设置有导向块(16),所述导向块(16)上包括第一引流面(17)和第二引流面(18),所述第一引流面(17)用以将液体导向所述第一导流孔(8),所述第二引流面(18)用以将液体导向所述第二导流孔(9),液体通过所述第一导流孔(8)流向所述第一导流部(6),液体通孔所述第二导流孔(9)流向所述第二导流部(7)。
2.根据权利要求1所述的一种湿法用承液槽体,其特征在于:所述第一导流部(6)包括倾斜设置的第一导流板(10),所述第二导流部(7)包括倾斜设置的第二导流板(11),所述第一导流板(10)顶部与所述第二导流板(11)顶部之间的距离大于所述第一导流板(10)底部与所述第二导流板(11)底部之间的距离。
3.根据权利要求2所述的一种湿法用承液槽体,其特征在于:所述第一导流板(10)和所述第二导流板(11)上均开设有若干个导流槽(12),所述导流槽(12)用以将液体导向所述连接孔(2)。
4.根据权利要求3所述的一种湿法用承液槽体,其特征在于:所述第一导流板(10)上每相邻的两个所述导流槽(12)之间的间距相同,所述第二导流板(11) 上每相邻的两个所述导流槽(12)之间的间距相同。
5.根据权利要求4所述的一种湿法用承液槽体,其特征在于:所述第一导流板(10)与所述槽体(1)底壁面之间一体形成有第一过渡部(14),所述第二导流板(11)与所述槽体(1)底壁面之一体形成有第二过渡部(15),所述第一过渡部(14)用以将第一导流板(10)上导流槽(12)内的液体导向所述槽体(1)底壁面,所述第二过渡部(15)用以第二导流板(11)上的导流槽(12)内的液体导向所述槽体(1)底壁面。
6.根据权利要求2所述的一种湿法用承液槽体,其特征在于:所述第一导流板(10)与所述第二导流板(11)均由聚偏二氟乙烯PVDF或者聚四氟乙烯PTFE制成。
7.根据权利要求6所述的一种湿法用承液槽体,其特征在于:所述第一导流板(10)与所述第二导流板(11)的表面粗糙度小于3.2Ra。
8.根据权利要求1所述的一种湿法用承液槽体,其特征在于:所述槽体(1)的顶部固定连接有挡流板(13),所述挡流板(13)与所述第一导流部(6)位于同一侧。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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