[实用新型]一种湿法用承液槽体有效

专利信息
申请号: 202023340708.1 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN213936133U 公开(公告)日: 2021-08-10
发明(设计)人: 孙嘉艺;邓信甫;国天增;刘大威;陈丁堃 申请(专利权)人: 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 代理人: 刘富艳
地址: 200000 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 湿法 用承液槽体
【权利要求书】:

1.一种湿法用承液槽体,包括槽体(1),所述槽体(1)设置容纳空间内,所述槽体(1)底壁面上开设有连接孔(2),所述连接孔(2)用以与排液管相互连通,其特征在于:所述槽体(1)内水平设置有横板(3),所述横板(3)将所述槽体(1)分割成第一容纳腔(4)和第二容纳腔(5),所述第一容纳腔(4)位于所述第二容纳腔(5)上方,所述槽体(1)相对的两内侧面上分别设置有第一导流部(6)和第二导流部(7),且所述第一导流部(6)与所述第二导流部(7)均位于所述第二容纳腔(5)内,所述第一导流部(6)和所述第二导流部(7)均用以将液体导向所述连接孔(2),所述横板(3)上开设有第一导流孔(8)和第二导流孔(9),所述第一导流孔(8)与所述第一导流部(6)位于同一侧,所述第二导流孔(9)与所述第二导流部(7)位于同一侧,所述横板(3)顶面上设置有导向块(16),所述导向块(16)上包括第一引流面(17)和第二引流面(18),所述第一引流面(17)用以将液体导向所述第一导流孔(8),所述第二引流面(18)用以将液体导向所述第二导流孔(9),液体通过所述第一导流孔(8)流向所述第一导流部(6),液体通孔所述第二导流孔(9)流向所述第二导流部(7)。

2.根据权利要求1所述的一种湿法用承液槽体,其特征在于:所述第一导流部(6)包括倾斜设置的第一导流板(10),所述第二导流部(7)包括倾斜设置的第二导流板(11),所述第一导流板(10)顶部与所述第二导流板(11)顶部之间的距离大于所述第一导流板(10)底部与所述第二导流板(11)底部之间的距离。

3.根据权利要求2所述的一种湿法用承液槽体,其特征在于:所述第一导流板(10)和所述第二导流板(11)上均开设有若干个导流槽(12),所述导流槽(12)用以将液体导向所述连接孔(2)。

4.根据权利要求3所述的一种湿法用承液槽体,其特征在于:所述第一导流板(10)上每相邻的两个所述导流槽(12)之间的间距相同,所述第二导流板(11) 上每相邻的两个所述导流槽(12)之间的间距相同。

5.根据权利要求4所述的一种湿法用承液槽体,其特征在于:所述第一导流板(10)与所述槽体(1)底壁面之间一体形成有第一过渡部(14),所述第二导流板(11)与所述槽体(1)底壁面之一体形成有第二过渡部(15),所述第一过渡部(14)用以将第一导流板(10)上导流槽(12)内的液体导向所述槽体(1)底壁面,所述第二过渡部(15)用以第二导流板(11)上的导流槽(12)内的液体导向所述槽体(1)底壁面。

6.根据权利要求2所述的一种湿法用承液槽体,其特征在于:所述第一导流板(10)与所述第二导流板(11)均由聚偏二氟乙烯PVDF或者聚四氟乙烯PTFE制成。

7.根据权利要求6所述的一种湿法用承液槽体,其特征在于:所述第一导流板(10)与所述第二导流板(11)的表面粗糙度小于3.2Ra。

8.根据权利要求1所述的一种湿法用承液槽体,其特征在于:所述槽体(1)的顶部固定连接有挡流板(13),所述挡流板(13)与所述第一导流部(6)位于同一侧。

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