[实用新型]一种夹具有效
| 申请号： | 202023342022.6 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214361659U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 赵勇杰 | 申请（专利权）人： | 合肥本源量子计算科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/04;C23C16/458;C23C16/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市合肥市高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 夹具 | ||
1.一种夹具，其特征在于，所述夹具(100)一面设有工艺窗口(1)，
所述工艺窗口(1)设有第一承载位(11)以及第二承载位(12)，所述第一承载位(11)用于置放掩膜层(200)，所述第二承载位(12)用于置放待镀元件(300)，所述第一承载位(11)与所述第二承载位(12)层叠设置以使所述掩膜层(200)和所述待镀元件(300)层叠置放。
2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述夹具(100)另一面设有置放窗口(2)，所述置放窗口(2)与所述工艺窗口(1)相对设置，且所述置放窗口(2)与所述工艺窗口(1)内均设有限位台(13)。
3.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述夹具(100)还包括伸缩机构(3)，所述伸缩机构(3)可往复运动以实现所述掩膜层(200)以及所述待镀元件(300)的固定或释放，所述伸缩机构(3)沿所述工艺窗口(1)周边分布。
4.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述伸缩机构(3)包括限位块(31)以及弹性机构(32)，所述弹性机构(32)与所述限位块(31)固定连接，所述限位块(31)可在所述弹性机构(32)带动下，所述限位块(31)移动至所述工艺窗口(1)以及所述置放窗口(2)处，以实现所述掩膜层(200)以及所述待镀元件(300)的固定。
5.根据权利要求4所述的夹具，其特征在于，所述工艺窗口(1)以及所述置放窗口(2)边沿均开设有安装孔(14)，所述限位块(31)可沿所述安装孔(14)往复运动，以实现所述掩膜层(200)以及所述待镀元件(300)的固定或释放。
6.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述夹具(100)还包括一端设置在所述工艺窗口(1)的多个夹持部，
所述夹持部的另一端可移动至所述第一承载位(11)以将所述掩膜层(200)固定在所述第一承载位(11)，以及所述夹持部的另一端可移动至所述第二承载位(12)以将所述待镀元件(300)固定在所述第二承载位(12)。
7.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述第一承载位(11)与所述第二承载位(12)间设有隔离物。
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