[实用新型]一种化学液槽

权利要求书

1.一种化学液槽，其特征在于，包括：

化学液槽本体(1)，其内部具有容纳空间；

化学液槽本体(1)的侧壁上设有用于容纳加热板(9)的容纳槽，所述容纳槽的顶部具有适于加热板(9)取放的开口；

所述容纳槽与所述化学液槽本体(1)内的容纳空间相通。

2.根据权利要求1所述的化学液槽，其特征在于，所述容纳槽内设有竖向设置的隔板，所述隔板将所述容纳槽分隔为第一槽体(3)和第二槽体(6)，所述第一槽体(3)与所述化学液槽本体(1)内的容纳空间相通，所述第二槽体(6)与所述第一槽体(3)不相通；所述第一槽体(3)和所述第二槽体(6)均能用于放置加热板(9)。

3.根据权利要求2所述的化学液槽，其特征在于，所述第一槽体(3)的顶部开口上可拆卸连接有第一槽盖(4)，所述第二槽体(6)的顶部开口上可拆卸连接有第二槽盖(5)。

4.根据权利要求3所述的化学液槽，其特征在于，所述第一槽盖(4)还可拆卸连接于所述第二槽体(6)的顶部开口，所述第二槽盖(5)还可拆卸连接于所述第一槽体(3)的顶部开口。

5.根据权利要求4所述的化学液槽，其特征在于，所述第一槽盖(4)和所述第二槽盖(5)中至少有一个连接有加热板(9)，所述加热板(9)能随所述第一槽盖(4)或所述第二槽盖(5)取放所述第一槽体(3)和所述第二槽体(6)。

6.根据权利要求2所述的化学液槽，其特征在于，所述第一槽体(3)和所述第二槽体(6)均纵向设置，所述加热板(9)呈纵向放置于所述第一槽体(3) 和所述第二槽体(6)。

7.根据权利要求2－6中任意一项所述的化学液槽，其特征在于，所述第二槽体(6)连通有水冲洗管路(7)，所述水冲洗管路(7)用于对所述第二槽体(6)内的加热板(9)进行水洗。

8.根据权利要求2－6中任意一项所述的化学液槽，其特征在于，所述第二槽体(6)还连通有氮气冲洗管路(8)，所述氮气冲洗管路(8)用于对所述第二槽体(6)内的加热板(9)进行吹扫。

9.根据权利要求7所述的化学液槽，其特征在于，所述第二槽体(6)的还设有排放管路(10)，所述排放管路(10)与所述化学液槽本体(1)的排放管路(10)相通。