[实用新型]测试装置及其测试机构

说明书

本申请公开了一种测试装置及其测试机构。该测试机构包括：固定座，固定有测试板，测试板设有测试接口，测试接口用于与待测试工件对接；调整座，与固定座连接，用于调节固定座的位置。通过设置调整座调节固定座的位置，从而调整测试板的测试接口的位姿，提升测试接口与工件的接触有效率，进而本申请能够提供的测试机构能够提升测试效果。

技术领域

本申请涉及半导体测试技术领域，特别是涉及一种测试装置及其测试机构。

背景技术

现有对晶粒(die)进行检测的测试装置中，其中测试板的位置常因难以调节而导致测试板对晶粒的测试效果不佳。

实用新型内容

本申请主要提供一种测试装置及其测试机构，以解决测试板的位置无法调节的问题。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种测试机构。所述测试机构包括：固定座，固定有测试板，所述测试板设有测试接口，所述测试接口用于与待测试工件对接；调整座，与所述固定座连接，用于调节所述固定座的位置。

在一些实施例中，所述调整座包括：

第一调整组件，用于沿第一方向调节所述固定座的位置；

第二调整组件，与所述第一调整组件层叠设置，所述第一调整组件和所述固定座分别设置于所述第二调整组件的两侧，用于沿与所述第一方向相垂直的第二方向调节所述固定座的位置。

在一些实施例中，所述调整座还包括支撑件和第三调整组件，所述支撑件的底面叠置且连接于所述第二调整组件背离所述第一调整组件的一侧，所述支撑件与所述底面相垂直的侧面上依次层叠设置有所述第三调整组件和所述固定座，所述第三调整组件用于沿与所述第一方向和所述第二方向均垂直的升降方向调节所述固定座的位置。

在一些实施例中，所述第一调整组件、所述第二调整组件和所述第三调整组件均包括：

第一调节板；

第二调节板，与所述第一调节板层叠设置，并被所述第一调节板限定为沿设定方向运动；

连接件，设有调节孔，所述连接件的一端固定于所述第一调节板上，所述连接件的另一端通过紧固件和所述调节孔配合而连接于所述第二调节板；

调节杆，连接于所述第一调节板背离所述连接件的一侧，并抵接于所述第二调节板上。

在一些实施例中，所述第一调整组件、所述第二调整组件和所述第三调整组件还包括锁紧件，所述锁紧件设置于所述第一调节板上，并用于从与所述调节杆相反的一侧止挡所述第二调节板。

在一些实施例中，所述调节杆为千分尺。

在一些实施例中，所述固定座包括：

第一固定件，与所述调整座连接，设有避位孔，所述测试板承载于所述第一固定件，且所述测试接口自所述避位孔露出；

第二固定件，与所述第一固定件连接，以夹持所述测试板。

在一些实施例中，所述测试板包括：

第一测试子板，设有所述测试接口，承载于所述第一固定件上；

第二测试子板，插接于所述第一测试子板。

在一些实施例中，所述固定座还包括第三固定件，所述第三固定件与所述第一固定件垂直连接，所述第二测试子板还固定于所述第三固定件上。

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种测试装置。所述测试装置包括如权上述的测试机构。