[实用新型]一种改善扩散均匀性的大尺寸石英管有效
申请号: | 202023344565.1 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN214361840U | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 吴慧敏;陈刚 | 申请(专利权)人: | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 |
主分类号: | C30B31/10 | 分类号: | C30B31/10 |
代理公司: | 金华智芽专利代理事务所(普通合伙) 33307 | 代理人: | 陈迪 |
地址: | 322000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改善 扩散 均匀 尺寸 石英管 | ||
本实用新型涉及一种改善扩散均匀性的大尺寸石英管。它包括有内柱体和套设在内柱体外部的外管体,内柱体和外管体均为石英材质,外管体的一端为开口设置,而另一端为闭合设置,内柱体与外管体之间连接有石英结点,石英结点用于连接固定内柱体和外管体,外管体上开设有若干贯通管体的扩散孔,外管体两端的扩散孔分布密度大于外管体中部的分布密度。外管体两端的扩散孔分布密度大于外管体中部的分布密度,这样设计有利于气体均匀的充满扩散炉,有利于电池片的扩散反应。同时内柱体加外管体的结构具有更好的抗弯强度,自身的长度尺寸可以做得更大。
技术领域
本实用新型涉及一种石英管,尤其是涉及一种改善扩散均匀性的大尺寸石英管。
背景技术
扩散炉是太阳能电池生产中必需的一种设备,用于电池片的扩散处理。扩散炉中设有用于扩散气体的石英管,由于现有的扩散炉的内腔体积不断扩大,现有石英管的扩散均匀性不佳,炉内气体的浓度分布不均匀,不利于电池片的扩散效果。
发明内容
本实用新型提供了一种改善扩散均匀性的大尺寸石英管;解决现有技术中存在扩散不均的问题。
本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:一种改善扩散均匀性的大尺寸石英管,其特征在于:包括有内柱体和套设在内柱体外部的外管体,内柱体和外管体均为石英材质,外管体的一端为开口设置,而另一端为闭合设置,内柱体与外管体之间连接有石英结点,石英结点用于连接固定内柱体和外管体,外管体上开设有若干贯通管体的扩散孔,外管体两端的扩散孔分布密度大于外管体中部的分布密度。
本实用新型整体位于扩散炉内,外管体上开口一端与供气端口连接,气体流经内柱体与外管体之间的空腔,最后从扩散孔流出。外管体两端的扩散孔分布密度大于外管体中部的分布密度,这样设计有利于气体均匀的充满扩散炉,有利于电池片的扩散反应。同时内柱体加外管体的结构具有更好的抗弯强度,自身的长度尺寸可以做得更大。
作为优选,所述外管体的长度为1.5~2.5米。外管体的长度具体要与扩散炉内腔长度尺寸匹配。
作为优选,所述外管体两端的扩散孔分布密度为10~50个/米,外管体中部的扩散孔分布密度为5~30个/米。
作为优选,所述外管体两端的扩散孔分布密度为外管体中部分布密度的1.5~2倍。
作为优选,所述扩散孔的孔径为3~5mm。
作为优选,所述的石英结点为3~4个/米。
作为优选,所述石英结点的宽度10~25mm。
作为优选,所述内柱体的外径为5mm,外管体的外径为15~30mm。
因此,本实用新型相比现有技术具有以下特点:1.内柱体加外管体的结构具有更好的抗弯强度,使其长度尺寸可以更大;2.外管体两端的扩散孔分布密度大于外管体中部的分布密度,这样设计有利于气体均匀的充满扩散炉,有利于电池片的扩散反应。
附图说明
附图1是本实用新型的一种剖面图;
附图2是附图1的A部放大图。
具体实施方式
下面通过实施例,并结合附图,对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。
实施例1:见图1和图2,一种改善扩散均匀性的大尺寸石英管,包括有内柱体1和套设在内柱体1外部的外管体2,内柱体1和外管体2均为石英材质,外管体2的一端为开口设置,而另一端为闭合设置,内柱体1与外管体2之间连接有石英结点3,石英结点用于连接固定内柱体和外管体,外管体2上开设有若干贯通管体的扩散孔4,外管体2两端的扩散孔4分布密度大于外管体2中部的分布密度。
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