[实用新型]用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构和晶体生长设备

权利要求书

1.一种用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，其特征在于，所述晶体生长设备包括坩埚，所述坩埚升降旋转机构(100)用于驱动所述坩埚上下移动和旋转，所述坩埚升降旋转机构(100)包括：

固定支架(3)，所述固定支架适于与所述晶体生长设备的炉底板相连；

滑座组件(2)，所述滑座组件(2)适于与所述坩埚相连；

驱动组件(1)；所述驱动组件(1)包括驱动器(11)和升降机构(12)，所述驱动器(11)安装在所述固定支架(3)上，所述升降机构(12)与所述滑座组件(2)配合，所述驱动器(11)通过所述升降机构(12)驱动所述滑座组件(2)上下移动，以使所述滑座组件(2)适于带动所述坩埚上下移动。

2.根据权利要求1所述的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，其特征在于，所述升降机构(12)包括丝杠(121)，所述丝杠(121)与所述驱动器(11)相连以由所述驱动器(11)驱动转动，所述丝杠(121)沿上下方向延伸且和所述滑座组件(2)螺纹配合。

3.根据权利要求2所述的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，其特征在于，所述驱动组件(1)还包括：

同步带传动机构(13)，所述同步带传动机构(13)设在所述驱动器(11)和所述升降机构(12)之间，且包括主动带轮(131)、从动带轮(132)和环形传动带(133)，所述主动带轮(131)与所述驱动器(11)相连，所述从动带轮(132)与所述丝杠(121)相连，所述环形传动带(133)张紧在所述主动带轮(131)和所述从动带轮(132)上；

任选地，所述主动带轮(131)的直径小于所述从动带轮(132)的直径。

4.根据权利要求1所述的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，其特征在于，所述滑座组件(2)上设有导向机构(14)，所述导向机构(14)包括：

导轨(141)，所述导轨(141)适于固设在所述晶体生长设备内的固定支架(3)上且沿上下方向延伸；

滑块，所述滑块设在所述滑座组件(2)上且与所述导轨(141)滑动配合。

5.根据权利要求1所述的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，其特征在于，所述滑座组件(2)包括：

坩埚轴(22)，所述坩埚轴(22)适于可移动地穿设于所述炉底板上，所述坩埚轴(22)上形成有安装法兰(221)，所述坩埚轴(22)外套设有波纹管(5)，所述波纹管(5)密封连接在所述炉底板和所述安装法兰(221)之间；

任选地，所述波纹管(5)为金属件。

6.根据权利要求1所述的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，其特征在于，所述滑座组件(2)包括称重机构(21)，所述称重机构(21)用于称量所述滑座组件(2)上的承载重量并输出称重信息；

任选地，所述坩埚升降旋转机构(100)还包括显示组件，所述显示组件与所述称重机构(21)相连以用于显示所述称重信息。

7.根据权利要求6所述的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，其特征在于，所述称重机构(21)为多个且沿所述滑座组件(2)的周向间隔布置，每个所述称重机构(21)分别与所述显示组件相连；

任选地，所述称重机构(21)为三个且沿所述滑座组件(2)的周向均匀间隔布置。