[实用新型]一种紫外光准分子激光器用可调光阑

权利要求书

1.一种紫外光准分子激光器用可调光阑，其特征在于：包括能够安装至激光器上的步进电机(1)，所述的步进电机(1)上连接有受其驱动而转动的光阑片(2)，所述的光阑片(2)上设有多个在光阑片(2)转动时能与激光射线对齐而改变激光向外发射直径的光阑孔(21)，所述的紫外光准分子激光器用可调光阑还包括与步进电机(1)连接且用于控制步进电机(1)转动角度而使激光射线与光阑孔(21)对齐的控制器(3)。

2.根据权利要求1所述的紫外光准分子激光器用可调光阑，其特征在于：所述的光阑片(2)呈圆形设置，且多个所述的光阑孔(21)沿光阑片(2)的周向间隔设置。

3.根据权利要求1或2所述的紫外光准分子激光器用可调光阑，其特征在于：所述的光阑孔(21)的直径范围在0.1～8mm之间。

4.根据权利要求1所述的紫外光准分子激光器用可调光阑，其特征在于：所述步进电机(1)的输出轴(11)上连接有用于固定光阑片(2)的锁定装置(4)。

5.根据权利要求4所述的紫外光准分子激光器用可调光阑，其特征在于：所述的锁定装置(4)包括连接于输出轴(11)上的定位板(41)和与定位板(41)通过螺钉(42)相互锁定的锁定板(43)，所述的光阑片(2)位于所述的定位板(41)与锁定板(43)之间，且所述的光阑片(2)上设有能供螺钉(42)穿设的固定孔(22)。

6.根据权利要求1所述的紫外光准分子激光器用可调光阑，其特征在于：所述的步进电机(1)上设有与控制器(3)连接并用于检测与激光射线正在对齐的光阑孔(21)直径的检测装置(5)，所述的光阑片(2)上设有能供检测装置(5)检测定位的检测标记(23)。

7.根据权利要求6所述的紫外光准分子激光器用可调光阑，其特征在于：所述的检测标记(23)为沿光阑片(2)的周向并设于光阑孔(21)内侧的多个凹槽(231)，每个所述的凹槽(231)直径大小与位于凹槽(231)外侧的光阑孔(21)的直径大小相等。

8.根据权利要求1所述的紫外光准分子激光器用可调光阑，其特征在于：所述的控制器(3)包括电路板(31)，所述的电路板(31)与步进电机(1)之间设有能够控制步进电机(1)旋转角度的伺服控制器(6)。

9.根据权利要求8所述的紫外光准分子激光器用可调光阑，其特征在于：所述的电路板(31)上还设有显示器(32)，所述的电路板(31)上还设有能够控制步进电机按照设定角度转动的多个选择按键(33)，所述的电路板(31)上还设有与各个选择按键(33)对应并用于显示光阑孔(21)直径的展示牌(34)，所述的电路板(31)还设有能够驱动步进电机(1)复位的复位按键(35)。

10.根据权利要求1或8所述的紫外光准分子激光器用可调光阑，其特征在于：所述的步进电机(1)下端连接有安装座(7)，所述的安装座(7)上设有能供固定件插入的安装孔(71)。