[实用新型]开盖机构

权利要求书

1.一种开盖机构，其特征在于，包括：开盖面板(100)、开盖组件(200)、传动件和驱动件；所述开盖组件(200)包括门栓(210)和传动轮，所述门栓(210)与所述开盖面板(100)转动连接，所述传动轮与所述门栓(210)传动连接，所述驱动件通过所述传动件驱动所述传动轮转动；

所述驱动件与所述传动轮之间或所述传动轮与所述门栓(210)之间设有过载保护件，当所述门栓(210)卡在晶圆盒盖时，所述过载保护件阻断所述驱动件向所述门栓(210)传递动力。

2.根据权利要求1所述的开盖机构，其特征在于，所述开盖组件(200)的数量为两个，所述传动件与两个所述开盖组件(200)中的所述传动轮传动连接。

3.根据权利要求2所述的开盖机构，其特征在于，所述传动轮包括带轮(220)，所述传动件包括同步带(300)，所述同步带(300)作为所述过载保护件套设于两个所述带轮(220)，所述驱动件与所述同步带(300)传动连接。

4.根据权利要求3所述的开盖机构，其特征在于，所述开盖面板(100)上设有门栓支撑座(110)，所述门栓(210)分别与所述开盖面板(100)和所述门栓支撑座(110)转动连接，所述带轮(220)位于所述开盖面板(100)与所述门栓支撑座(110)之间，并固定套设于所述门栓(210)。

5.根据权利要求3所述的开盖机构，其特征在于，所述驱动件包括气缸(400)，所述气缸(400)的驱动端通过固定组件(500)与所述同步带(300)连接。

6.根据权利要求5所述的开盖机构，其特征在于，所述固定组件(500)包括底座(510)、调节头(520)、第一压板(530)和第二压板(540)，所述气缸(400)的驱动端与所述底座(510)连接，所述调节头(520)沿所述同步带(300)的长度方向与所述底座(510)可调节连接，所述第一压板(530)与所述底座(510)可拆卸连接，所述第二压板(540)与所述调节头(520)可拆卸连接，所述同步带(300)的一侧位于所述第一压板(530)与所述底座(510)之间和所述第二压板(540)与所述调节头(520)之间。

7.根据权利要求6所述的开盖机构，其特征在于，所述底座(510)设有轴线与所述同步带(300)的长度方向平行的调节通孔(511)，所述调节头(520)设有与所述调节通孔(511)同轴的螺纹孔(521)，调节螺栓穿过所述调节通孔(511)与所述螺纹孔(521)配合。

8.根据权利要求6所述的开盖机构，其特征在于，所述开盖面板(100)上设有沿所述同步带(300)长度方向延伸的导轨(610)，所述底座(510)设有与所述导轨(610)滑动配合的滑块(620)。

9.根据权利要求6－8任一项所述的开盖机构，其特征在于，所述开盖机构还包括缓冲器(700)，所述缓冲器(700)设于所述底座(510)的背离气缸(400)的一侧。

10.根据权利要求9所述的开盖机构，其特征在于，所述缓冲器(700)与所述开盖面板(100)可调节连接，以调节所述缓冲器(700)与所述底座(510)之间的距离。