[实用新型]一种扫描致动器及光纤扫描器

权利要求书

1.一种扫描致动器，其特征在于，包括依次连接的第一致动部和第二致动部，所述的第一致动部包括压电陶瓷基板，以压电陶瓷基板的前后两端分别为固定端和自由端，以压电陶瓷基板的厚度方向为水平方向，所述的压电陶瓷基板的上侧和下侧中至少有一侧设置有驱动电极对，所述的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板左表面的左电极层和设置于压电陶瓷基板右表面的右电极层，压电陶瓷基板位于驱动电极对之间的部分沿水平方向极化，

所述的第二致动部包括压电陶瓷基板，以压电陶瓷基板的前后两端分别为固定端和自由端，以压电陶瓷基板的厚度方向为垂直方向，所述的压电陶瓷基板的左侧和右侧中至少有一侧设置有驱动电极对，所述的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板上表面的上电极层和设置于压电陶瓷基板下表面的下电极层，压电陶瓷基板位于驱动电极对之间的部分沿垂直方向极化，

所述的第二致动部的压电陶瓷基板的固定端与第一致动部的压电陶瓷基板的自由端固定连接。

2.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第一致动部为慢轴致动器，第二致动部为快轴致动器，快轴致动器的振动频率远大于慢轴致动器的振动频率。

3.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第一致动部的压电陶瓷基板的上侧设置有驱动电极对，所述的压电陶瓷基板的下侧未设置驱动电极对，所述的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板左表面上侧的左电极层和设置于压电陶瓷基板右表面上侧的右电极层，左电极层和右电极层相对设置，通过左电极层和右电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的上侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短。

4.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第一致动部的压电陶瓷基板的下侧设置有驱动电极对，所述的压电陶瓷基板的上侧未设置驱动电极对，所述的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板左表面下侧的左电极层和设置于压电陶瓷基板左表面下侧的右电极层，左电极层和右电极层相对设置，通过左电极层和右电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的下侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短。

5.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第一致动部的压电陶瓷基板的上侧和下侧均设置有驱动电极对，上侧的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板左表面上侧的第一左电极层和设置于压电陶瓷基板右表面上侧的第一右电极层，第一左电极层和第一右电极层相对设置，通过第一左电极层和第一右电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的上侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短；

下侧的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板左表面下侧的第二左电极层和设置于压电陶瓷基板右表面下侧的第二右电极层，左电极层和右电极层相对设置，通过左电极层和右电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的下侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短；

在同一时刻，压电陶瓷基板的下侧和上侧的伸缩方向相反。

6.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第二致动部的压电陶瓷基板的左侧设置有驱动电极对，所述的压电陶瓷基板的右侧未设置驱动电极对，所述的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板上表面左侧的上电极层和设置于压电陶瓷基板下表面左侧的下电极层，上电极层和下电极层相对设置，通过上电极层和下电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的左侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短。

7.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第二致动部的压电陶瓷基板的右侧设置有驱动电极对，所述的压电陶瓷基板的左侧未设置驱动电极对，所述的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板上表面右侧的上电极层和设置于压电陶瓷基板上表面右侧的下电极层，上电极层和下电极层相对设置，通过上电极层和下电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的右侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短。