[发明专利]化学溶液的颗粒监测装置及方法

权利要求书

1.一种化学溶液的颗粒监测装置，其特征在于，

包括：

化学溶液供给装置，用于收容化学溶液，根据控制部的作业开始信号供给上述化学溶液；

第一供给流路，与上述化学溶液供给装置相连接，用于供给上述化学溶液；

过滤器，与上述第一供给流路相连接，用于净化上述化学溶液；

分支流路及主流路，从上述过滤器分支而出；

排液阀，与上述分支流路相连接，用于开闭上述分支流路；

颗粒监测器，与上述主流路相连接，用于监测上述化学溶液的颗粒量；以及

分配器部，从上述颗粒监测器接收上述化学溶液，来向作业对象物供给上述化学溶液，

上述颗粒监测器与分配器部通过第二供给流路相连接，

在上述第二供给流路设置控制阀，上述控制阀用于对从上述颗粒监测器供给到分配器部的上述化学溶液的供给进行控制。

2.根据权利要求1所述的化学溶液的颗粒监测装置，其特征在于，上述控制阀被配置为阻隔或允许从上述颗粒监测器供给到分配器部的化学溶液的供给。

3.根据权利要求1所述的化学溶液的颗粒监测装置，其特征在于，

在开放上述排液阀的情况下，上述控制阀呈关闭状态，

在上述排液阀呈关闭状态的情况下，上述控制阀保持开放的状态。

4.根据权利要求1所述的化学溶液的颗粒监测装置，其特征在于，上述分配器部被配置为能够在起始位置与工作位置之间选择性地移动，上述起始位置为通过位于作业对象物的一侧来不向上述作业对象物供给上述化学溶液的位置，上述工作位置为通过位于上述作业对象物的上部来向上述作业对象物供给化学溶液的位置。

5.根据权利要求4所述的化学溶液的颗粒监测装置，其特征在于，在上述颗粒监测器的测量值为预设基准值以上的情况下，开放上述排液阀，关闭上述控制阀。

6.根据权利要求5所述的化学溶液的颗粒监测装置，其特征在于，在规定时间内通过开放的上述排液阀向外部排出上述化学溶液之后，关闭上述排液阀，开放上述控制阀，上述分配器部向起始位置移动，供给到上述分配器部的上述化学溶液在规定时间内被排出。

7.根据权利要求6所述的化学溶液的颗粒监测装置，其特征在于，在通过上述分配器部排出上述化学溶液的期间，在上述颗粒监测器的测量值为基准值以下的情况下，使上述分配器部移动到上述工作位置。

8.一种化学溶液的颗粒监测方法，利用权利要求1所述的颗粒监测装置执行，其特征在于，

包括：

第一步骤，关闭排液阀，以开放控制阀的状态向上述化学溶液供给装置供给化学溶液；

第二步骤，比较上述颗粒监测器测量的测量值与预设基准值；

第三步骤，在上述测量值大于基准值的情况下，开放排液阀，关闭控制阀，将上述分配器部移动到起始位置；

第四步骤，在规定时间内通过上述排液阀排出化学溶液；

第五步骤，在经过上述规定时间之后，关闭上述排液阀，开放上述控制阀；

第六步骤，将上述分配器部保持在起始位置；

第七步骤，在规定时间内通过上述分配器部排出上述化学溶液；以及

第八步骤，在执行上述第七步骤的期间，在上述颗粒监测器的测量值保持在基准值以下的情况下，通过将上述分配器部移动到工作位置来执行工序，

在上述第七步骤或上述第八步骤中，若上述颗粒监测器的测量值大于基准值，则从第一步骤开始重新依次执行每一步骤。