[发明专利]用于对三维FeRAM中的存储单元进行读取和写入的方法在审

专利信息
申请号: 202080001482.6 申请日: 2020-07-03
公开(公告)号: CN111937073A 公开(公告)日: 2020-11-13
发明(设计)人: 汤强 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: G11C11/22 分类号: G11C11/22;G11C11/40;G11C5/02
代理公司: 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 代理人: 林锦辉;刘景峰
地址: 430223 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 用于 三维 feram 中的 存储 单元 进行 读取 写入 方法
【权利要求书】:

1.一种三维铁电存储器件的读取方法,包括:

在目标存储单元的选定的字线上施加读取电压,其中:

所述目标存储单元包括对应于较高阈值电压和较低阈值电压的两个逻辑状态,所述较高阈值电压和所述较低阈值电压是由所述目标存储单元中的铁电膜的两个相反的电极化方向确定的;并且

所述读取电压小于所述较高阈值电压并且大于所述较低阈值电压;以及

测量流过所述目标存储单元的电流。

2.根据权利要求1所述的读取方法,还包括:

将选定的存储串电连接到位线和阵列公共源极,其中,所述选定的存储串包括第一多个堆叠的存储单元,所述第一多个堆叠的存储单元包括所述目标存储单元;以及

测量所述位线的电流。

3.根据权利要求1所述的读取方法,还包括:

在未选定的字线上施加通过电压。

4.根据权利要求3所述的读取方法,其中,在所述未选定的字线上施加所述通过电压包括:施加幅值大于所述较高阈值电压的所述通过电压,以接通所述未选定的字线上的所有存储单元。

5.根据权利要求4所述的读取方法,其中,施加所述通过电压包括:施加幅值小于所述铁电膜的矫顽电压的所述通过电压,以使得所述电极化方向不被切换。

6.一种三维铁电存储器件的编程方法,包括:

在目标存储单元的选定的字线上施加第一电压,其中:

所述目标存储单元包括分别对应于第一阈值电压和第二阈值电压的第一逻辑状态和第二逻辑状态,所述第一阈值电压和所述第二阈值电压是由所述目标存储单元中的铁电膜的两个相反的电极化方向确定的;以及

在连接到所述目标存储单元的漏极端子的选定的位线上施加第二电压,其中,

所述第一电压和所述第二电压之间的电压差包括大于所述铁电膜的矫顽电压的第一幅值,以使所述目标存储单元从所述第一逻辑状态切换到所述第二逻辑状态。

7.根据权利要求6所述的编程方法,其中,使所述目标存储单元从所述第一逻辑状态切换到所述第二逻辑状态包括使所述电极化方向切换到相反方向。

8.根据权利要求6所述的编程方法,其中,施加所述第一电压和所述第二电压包括施加具有相反符号和相同幅值的电压。

9.根据权利要求8所述的编程方法,其中,施加所述第一电压包括施加正电压,并且其中,施加所述第二电压包括施加负电压。

10.根据权利要求9所述的编程方法,其中,使所述目标存储单元从所述第一逻辑状态切换到所述第二逻辑状态包括:使所述目标存储单元从所述第一阈值电压切换到所述第二阈值电压,所述第一阈值电压高于所述第二阈值电压。

11.根据权利要求8所述的编程方法,其中,施加所述第一电压包括施加负电压,并且其中,施加所述第二电压包括施加正电压。

12.根据权利要求11所述的编程方法,其中,使所述目标存储单元从所述第一逻辑状态切换到所述第二逻辑状态包括:使所述目标存储单元从所述第一阈值电压切换到所述第二阈值电压,所述第一阈值电压低于所述第二阈值电压。

13.根据权利要求6所述的编程方法,还包括:

在未选定的字线上施加通过电压,其中,所述通过电压高于所述第一阈值电压和所述第二阈值电压,并且所述通过电压具有小于所述铁电膜的所述矫顽电压的第二幅值。

14.根据权利要求13所述的编程方法,还包括:

在未选定的位线上施加所述通过电压,其中,

所述第一电压和所述通过电压之间的第二电压差包括小于所述铁电膜的所述矫顽电压的第三幅值;并且

禁止未选定的存储单元在所述第一逻辑状态和所述第二逻辑状态之间切换。

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