[发明专利]电子枪、电子射线应用装置以及电子枪的控制方法

权利要求书

1.一种电子枪，包括：

光源；

光电阴极，因应来自光源的受光而发射电子束；

阳极；

电子束遮蔽构件，可遮蔽电子束的一部分；及

测量部，使用通过电子束遮蔽构件所遮蔽的测量用电子束，而测量从光电阴极所发射的电子束的强度。

2.如权利要求1所述的电子枪，其还包括控制部，所述控制部依据测量部的测量结果而调整从光电阴极所发射的电子束的强度。

3.如权利要求2所述的电子枪，其中，控制部控制要照射至光电阴极的光的强度。

4.如权利要求2或3所述的电子枪，其包括可收纳光电阴极的光电阴极收纳容器；

在光电阴极收纳容器的内部，配置有用以进行光电阴极的表面处理的表面处理材料；

控制部将光电阴极收纳于光电阴极收纳容器中，且以表面处理材料进行光电阴极的表面处理。

5.如权利要求1至4中任一项所述的电子枪，其还包括中间电极，所述中间电极配置于光电阴极与阳极之间，且能够通过电压的施加而改变电子束的宽度。

6.如权利要求1至5中任一项所述的电子枪，其中，光源射出频率调制光；

测量部包括信号提取器，所述信号提取器提取频率调制光的调制频率所对应的频率的信号。

7.一种电子射线应用装置，包括权利要求1至6中任一项所述的电子枪，

电子射线应用装置是自由电子激光加速器、电子显微镜、电子射线全像术装置、电子射线图案化装置、电子射线绕射装置、电子射线检查装置、电子射线金属层积造型装置、电子射线微影术装置、电子射线加工装置、电子射线硬化装置、电子射线灭菌装置、电子射线杀菌装置、电浆产生装置、原子状元素产生装置、旋转偏极电子射线产生装置、阴极发光装置、或逆光子放射摄谱术装置。

8.一种电子枪的控制方法，所述电子枪包括：

光源；

光电阴极，因应来自光源的受光而发射电子束；

阳极；

电子束遮蔽构件，可遮蔽电子束的一部分；及

测量部，使用通过电子束遮蔽构件所遮蔽的测量用电子束，而测量从光电阴极所发射的电子束的强度；

控制方法透过包括将来自光源的激发光照射至光电阴极，且因应激发光的受光而从光电阴极发射电子束的步骤、及使用通过电子束遮蔽构件所遮蔽的测量用电子束而测量电子束的强度的步骤，而监视从光电阴极所发射的电子束的强度。

9.如权利要求8所述的电子枪的控制方法，其中，电子枪还包括控制部，所述控制部依据测量部的测量结果而调整从光电阴极所发射的电子束的强度；

控制方法包括依据在测量电子束的强度的步骤中所测量的电子束的强度，而调整从光电阴极所发射的电子束的强度的步骤。

10.如权利要求9所述的电子枪的控制方法，其中，调整电子束的强度的步骤控制要照射至光电阴极的光的强度。

11.如权利要求9或10所述的电子枪的控制方法，其中，电子枪还包括可收纳光电阴极的光电阴极收纳容器；

在光电阴极收纳容器的内部，配置有用以进行光电阴极的表面处理的表面处理材料；

调整电子束的强度的步骤将光电阴极收纳于光电阴极收纳容器中，且以表面处理材料进行光电阴极的表面处理。

12.如权利要求8至11中任一项所述的电子枪的控制方法，其中，电子枪更具备中间电极，所述中间电极配置于光电阴极与阳极之间；

且包括对于中间电极施加电压以改变电子束的宽度的步骤。

13.如权利要求8至12中任一项所述的电子枪的控制方法，其中，激发光频率调制光；

测量电子束的强度的步骤提取频率调制光的调制频率所对应的频率的信号而进行测量。