[发明专利]净化装置

权利要求书

1.一种净化装置，其是装配在作业室的内部的净化装置，其特征在于，

具备雾供给单元和雾循环分散机构，

所述雾供给单元将净化用药水转换为净化用雾，并将其供给至该作业室的内部，

所述雾循环分散机构具备配置于所述作业室的内部壁面附近的振动盘，使该振动盘进行超声波振动而从盘面沿垂直方向产生基于超声波的声流，

使基于声辐射压的按压作用于被供给至所述作业室内的所述净化用雾，由此使该净化用雾在所述作业室内循环分散。

2.如权利要求1所述的净化装置，其特征在于，

所述雾循环分散机构具备两个以上振动盘，

所述两个以上振动盘以使其盘面彼此不相对的方式配置，由此不会由于由各振动盘产生的超声波而产生驻波声场，因此，

所述净化用雾以在所述作业室的内部回旋的方式移动。

3.如权利要求1或2所述的净化装置，其特征在于，

所述振动盘具备底座和两个以上发射器，

在所述底座的平面上使所述两个以上发射器的发射方向统一地进行配置，并且使这些发射器以相同相位工作，

由此，使所述两个以上发射器的正面方向的超声波相互增强，并且使该两个以上发射器的横向的超声波相互抵消，从所述振动盘的盘面沿垂直方向产生指向性强的基于超声波的声流。

4.如权利要求1～3中任一项所述的净化装置，其特征在于，被供给至所述作业室内的所述净化用雾通过由所述振动盘产生的超声波振动而进一步微细化。

5.如权利要求1～4中任一项所述的净化装置，其特征在于，具备使由所述振动盘产生的超声波的频率和输出功率可变、和/或间歇地发射超声波的控制单元，对在所述作业室内循环分散的所述净化用雾的移动速度进行控制。