[发明专利]液滴喷出装置和液滴喷出方法

权利要求书

1.一种液滴喷出装置，其特征在于，包括：

第一液滴喷出部，包括用于保持表面带电除去处理用的第一液体的第一液体保持部和用于将该第一液体保持部的第一液体作为第一液滴喷出的第一前端部；

第二液滴喷出部，包括用于保持图案形成用的第二液体的第二液体保持部和用于将该第二液体保持部的第二液体作为与第一液滴不同的第二液滴喷出的第二前端部；

对象物保持部，用于保持对象物，所述对象物上能够被喷所述第一液体和所述第二液体；以及

驱动部，用于使所述第一前端部和所述第二前端部相对于所述对象物保持部在第一方向上相对移动，

所述第一前端部相对于所述第二前端部配置在所述第一方向的前方；

所述第一液滴喷出部具有压电型喷嘴头，

所述第二液滴喷出部具有静电喷出型喷嘴头。

2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述第一液滴喷出部在与所述第一液滴喷出部移动的方向交叉的方向上设置有多个。

3.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述第一液滴喷出部在与所述第一液滴喷出部移动的方向交叉的方向上延伸。

4.根据权利要求2所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述第二液滴喷出部在与所述第一液滴喷出部移动的方向交叉的方向上设置有多个。

5.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述第一液滴喷出部的所述第一前端部的内径大于所述第二液滴喷出部的所述第二前端部的内径。

6.一种液滴喷出方法，其特征在于，所述方法包括：

从具有压电型喷嘴头的第一液滴喷出部向对象物的第一区域喷出表面带电去除处理用的第一液滴，

从与第一液滴喷出部不同的具有静电喷出型喷嘴头的第二液滴喷出部向所述第一区域喷出粘度比所述第一液滴高的图案形成用的第二液滴，

以与从第二液滴喷出部喷出所述第二液滴同步的方式从所述第一液滴喷出部向与所述第一区域不同的第二区域喷出所述第一液滴。

7.根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其特征在于，

所述第二液滴在满足规定的条件时喷出。

8.根据权利要求7所述的液滴喷出方法，其特征在于，

所述规定的条件包括向所述第一区域喷出所述第一液滴后的经过时间或所述第一液滴的厚度的信息。

9.根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其特征在于，

喷出所述第一液滴的区域比由所述第二液滴形成的图案尺寸大。

10.根据权利要求9所述的液滴喷出方法，其特征在于，

由所述第二液滴形成的图案尺寸为100nm以上500μm以下。

11.根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其特征在于，

所述第一液滴具有挥发性。

12.根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其特征在于，

所述第一液滴的表面电阻值为10⁶Ω/sq以上10¹¹Ω/sq以下。