[发明专利]用于缺陷分析的计算机实现的方法、用于缺陷分析的设备、计算机程序产品和智能缺陷分析系统

权利要求书

1.一种用于缺陷分析的计算机实现的方法，包括：

获得多组缺陷点坐标，所述多组缺陷点坐标中的各组包括多个基板中的各个基板中的缺陷点的坐标，各个基板中的缺陷点的坐标是在图像坐标系中的坐标；

将根据所述图像坐标系的所述多组缺陷点坐标组合成复合组坐标，以生成复合图像；以及

执行聚类分析以将所述复合图像中的所述复合组中的缺陷点分类成多个点簇。

2.根据权利要求1所述的计算机实现的方法，还包括从所述多个点簇获得多个选择的点簇；

其中，所述多个选择的点簇中的每个中的缺陷点的数量大于阈值数量。

3.根据权利要求1或2所述的计算机实现的方法，还包括：

分别确定所述多个点簇中的至少多个选择的点簇的多个轮廓，所述多个轮廓中的各个轮廓包括所述多个选择的点簇中的各个点簇中的多个边缘缺陷点；

对所述多个选择的点簇的边缘缺陷点应用拟合算法，以生成分别与所述多个选择的点簇对应的多个遮挡区域；以及

分别生成所述多个遮挡区域的多个特征向量。

4.根据权利要求3所述的计算机实现的方法，其中，生成所述多个特征向量包括：

生成所述多个遮挡区域中的各个遮挡区域的Hu几何矩m_i，j和中心到中心距离M_i，j，其中，m_i，j＝∑_(x，v)∈Axⁱy^j；

计算所述多个遮挡区域中的各个遮挡区域的缺陷点密度ρ，面积a，质心O(O_x，O_y)和方向θ；以及

生成所述多个遮挡区域中的各个遮挡区域的所述多个特征向量中的各个特征向量。

5.根据权利要求4所述的计算机实现的方法，其中，所述多个特征向量中的各个被表示为：

F＝[ρ，a，Ox，Oy，θ，L，W，r]^T，

其中N表示所述多个遮挡区域中的各个遮挡区域中的缺陷点的数量，a表示所述多个遮挡区域中的各个遮挡区域的面积；

M_ij＝∑_(x，y)∈A(x-O_x)ⁱ(y-O_y)^j；

L表示所述多个遮挡区域中的各个遮挡区域的最小外接矩形的长度；和

W表示所述多个遮挡区域中的各个遮挡区域的最小外接矩形的宽度。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的计算机实现的方法，其中，使用基于αShapes的方法来确定所述多个轮廓。

7.根据权利要求3至6中任一项所述的计算机实现的方法，还包括：

将所述多个遮挡区域中的一个或多个选择的遮挡区域分配为多个缺陷聚集区域；

其中，所述一个或多个选择的遮挡区域的特征向量满足阈值条件。

8.根据权利要求7所述的计算机实现的方法，还包括：

将所述一个或多个选择的遮挡区域内的第一缺陷点的参数与所述一个或多个选择的遮挡区域外的第二缺陷点的参数进行比较；以及

基于比较识别导致第一缺陷点的潜在设备。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的计算机实现的方法，还包括：

获得多组基板缺陷点坐标，所述多组基板缺陷点坐标中的各组包括在各个基板中的基板缺陷点的坐标，在各个基板中的基板缺陷点的坐标是基板坐标系中的坐标；以及

将在所述基板坐标系中的所述基板缺陷点的坐标转换为在所述图像坐标系中的所述缺陷点的坐标。