[发明专利]光照射装置

说明书

本发明提供一种光照射装置，搭载多个准分子灯，能够抑制对光取出面要求的物理强度的上升，并且对于各准分子灯实现较高的启动性。光照射装置具备多个在由壁体包围的收容区域中收容准分子灯而成的灯单元。各个灯单元具备：光取出面，将从准分子灯出射的光向外部取出；以及联络用透光窗，将从准分子灯出射的光向相邻接的其他灯单元所具备的收容区域引导。

技术领域

本发明涉及一种光照射装置，特别涉及包括准分子灯的光照射装置。

背景技术

以往，准分子灯为，当在低温状态、黑暗状态、长时间的休止状态后启动点亮时，需要较高的电压，因此具有点亮用电源大型化这样的课题。与此相对，在下述专利文献1中提出如下的光照射装置：作为启动辅助光源而具备放射390nm的紫外线的UV-LED，通过将来自该UV-LED的出射光向准分子灯进行照射，由此进行启动辅助。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-68944号公报

发明内容

发明要解决的课题

根据需要者所利用的用途，有时要求更高强度的紫外线。在此，作为提高从光照射装置出射的紫外线的强度的最简单的方法，可以考虑使搭载于灯单元的准分子灯的个数增加、或者使准分子灯大型化的方法。

然而，搭载于灯单元的准分子灯的个数无法无限地增加。其原因在于，准分子灯的个数越增加，则用于收容该准分子灯的收容区域越增加，因此灯单元大型化。为了形成用于收容较多准分子灯的收容区域而需要大型的壳体(框体)，并需要在该收容区域内收容较多准分子灯。但是，在该情况下，为了在大型壳体内侧的收容区域中收容重量较大的收容物，需要提高物理强度。

然后，在灯单元中，需要设置将从收容于收容区域的准分子灯出射的光向灯单元的外侧取出的光取出面。该光取出面需要用相对于光的透射性较高的物质形成，例如由石英等玻璃材料形成。当要将这样的由玻璃材料形成的光取出面实现成大面积的区域时，为了确保较高强度而需要增加厚度。其结果，光照射装置会极为大型化、重量化。

并且，即便使光取出面由相对于光的透射性较高的物质构成，透射率也不会为100％，对于入射的光以一定的比率吸收光。因此，当为了确保较高的强度而由厚度较厚的玻璃部件构成光取出面时，被该玻璃部件吸收的光量变得无法忽略，光取出效率会降低。

此外，即便在代替使搭载于灯单元的准分子灯的个数增加，而使准分子灯大型化的情况下，也会由于同样理由而产生上述课题。

此外，根据发光波长的不同，还存在启动性不太良好的准分子灯，在紫外线照射装置中搭载多个准分子灯的情况下，还存在需要对于各准分子灯实现较高启动性这样的课题。

本发明是鉴于上述课题而进行的，其目的在于提供一种光照射装置，在搭载多个准分子灯的光照射装置中，能够抑制对光取出面要求的物理强度的上升，并且对于各准分子灯实现较高的启动性。

用于解决课题的手段

本发明人鉴于上述课题，首先研究了如下内容：将多个收容准分子灯的灯单元本身进行排列，由此实现光强度较高的光照射装置。根据该构成，各灯单元所收容的准分子灯本身的个数较少、且能够实现小型，对各灯单元要求的物理强度可以比较小。然后，以各灯单元单位形成光取出面即可，因此对光取出面要求的物理强度也比较小即可。

然而，如上所述，准分子灯根据发光波长的不同而启动性不太良好，因此如上述专利文献1记载的那样，有时利用用于启动辅助的光源。因此，本发明人对于在具备多个收容准分子灯的灯单元的光照射装置中为了提高各准分子灯的启动性而应采用哪种方法进行了锐意研究，并完成了本发明。

本发明所涉及的光照射装置，具备多个灯单元，该灯单元是在由壁体包围的收容区域中收容准分子灯而成的，其特征在于，