[发明专利]保持件及带电粒子束装置

权利要求书

1.一种保持件，其特征在于，具有：

上部件，其具有用于使带电粒子束穿过的第一孔，且在上述第一孔内能够搭载试样；

底部件，其设置成与上述上部件在俯视下重叠；

侧部件，其以使上述上部件及上述底部件在剖视下互相分离的方式连接于上述上部件的一部分及上述底部件的一部分；

开口部，其是被上述上部件、上述侧部件以及上述底部件包围的区域；以及

第一闪烁体，其设于上述开口部内。

2.根据权利要求1所述的保持件，其特征在于，

还具有第一光学部件，该第一光学部件包括：

第一导光体，其具备使光透射且不能使X射线透射的功能；以及

第二孔，其设于上述第一导光体内，

上述第一光学部件以使上述第一导光体的侧面的一部分从上述侧部件露出的方式设于上述开口部内，

上述第二孔与上述第一孔在俯视下重叠，

上述第一闪烁体以一部分在上述第二孔内露出的方式设于上述第一导光体与上述底部件之间。

3.根据权利要求1所述的保持件，其特征在于，

还具有第二光学部件，该第二光学部件包括：

第二导光体及第三导光体，其分别具备使光透射且不能使X射线透射的功能；

遮断层，其设于上述第二导光体与上述第三导光体之间，且具备不能使光及X射线透射的功能；

第三孔，其设于上述第二导光体内；以及

第四孔，其设于上述第二导光体内、上述遮断层内以及上述第三导光体内，与上述第三孔连通，且具有比上述第三孔小的口径，

上述第二光学部件以使上述第二导光体及上述第三导光体各自的侧面的一部分从上述侧部件露出的方式设于上述开口部内，

上述第三孔及上述第四孔分别与上述第一孔在俯视下重叠，

上述第一闪烁体在上述第三孔内设于位于上述第四孔的周围的上述第二导光体上，

第二闪烁体以一部分在上述第四孔内露出的方式设于上述第三导光体与上述底部件之间。

4.根据权利要求3所述的保持件，其特征在于，

上述遮断层局部地覆盖上述第二导光体及上述第三导光体各自的侧面，

从上述遮断层及上述侧部件露出的上述第二导光体及上述第三导光体各自的侧面互相位于相反侧。

5.根据权利要求3所述的保持件，其特征在于，

上述第二光学部件的平面形状是在圆形或椭圆形的一部分设有切口的形状，

上述第二光学部件以上述切口与上述侧部件相接的方式设于上述开口部内。

6.根据权利要求3所述的保持件，其特征在于，

能够透射上述第二导光体及上述第三导光体的每一个的上述光及不能透射上述遮断层的上述光分别为从真空紫外光区域到可见光区域的光，

构成上述第二导光体及上述第三导光体的每一个的材料为玻璃或丙烯酸树脂，

构成上述遮断层、上述上部件、上述侧部件以及上述底部件的每一个的材料为金属或合金。

7.根据权利要求1所述的保持件，其特征在于，

还具备第二光学部件，该第二光学部件包括：

第二导光体及第三导光体，其分别具备使光透射且不能使X射线透射的功能；

遮断层，其设于上述第二导光体与上述第三导光体之间，且具备不能使光及上述X射线透射的功能；

第三孔，其设于上述第二导光体内；以及

第四孔，其设于上述第二导光体内及上述遮断层内，与上述第三孔连通，且具有比上述第三孔狭小的口径，

上述第二光学部件以使上述第二导光体及上述第三导光体各自的侧面的一部分从上述侧部件露出的方式设于上述开口部内，

上述第三孔及上述第四孔分别与上述第一孔在俯视下重叠，

上述第一闪烁体在上述第三孔内设于位于上述第四孔的周围的上述第二导光体上，

第二闪烁体以其一部分在上述第四孔内露出的方式设于上述第三导光体与上述底部件之间。