[发明专利]废气分拣分离处理装置及其控制方法

说明书

本发明的特征是，根据腐蚀性及非腐蚀性与否分拣分离废气,能够单独地进行热分解处理，而且通过去除发热模块和腔室上固着的粉体来提高操作效率和设备的耐久性，即使运行过程中也能够将捕集到的粉体排出到外部。

技术领域

本发明涉及一种废气分拣分离处理装置，更具体地，涉及接收并联动主设备信号，分拣分离腐蚀性及非腐蚀性废气且能够单独地进行热分解处理，而且通过去除发热模块和腔室上固着的粉体来提高操作效率和设备的耐久性，即使运行过程中也能够将捕集到的粉体排出到外部的废气分拣分离处理装置。

背景技术

通常，LCD及半导体制造工艺或者化学工艺中排出的腐蚀性及非腐蚀性废气，例如全氟化物(PFC：Perfluorocompound)气体应该先进行无害化处理后再排出到大气中。

为了进行无害化处理，需要执行对废气热分解的干式及湿式清洗，与前述无害化处理相关的先行技术已在韩国授权专利第10-0937697号(废气处理装置)中公开。

作为现有技术的废气处理装置由用于处理废气的腔室(10)、废气流入的废气流入部(12)、对通过腔室(10)内部的废气进行热分解的热处理部(20)、对通过腔室(10)的同时被热分解的废气进行冷却的冷却部组成，将废气直接暴露于腔室(10)内部,并通过热处理部(20)的高温发热对废气进行热分解，从而完成无害化处理。

然而，作为现有技术的废气处理装置中，废气热分解的过程中产生的粉体固着到腔室内部，从而存在操作效率下降的同时耐久性明显降低的技术问题。

而且，由于不存在用于另行捕集粉体的结构，因此很难管理包括粉体在内的废弃物。

发明内容

【技术问题】

为了解决如上所述的技术问题，本发明的目的在于提供根据腐蚀性及非腐蚀性与否分拣分离废气并能够单独地进行热分解处理的废气分拣分离处理装置。

另外，本发明的目的在于提供通过刮板单元部去除发热模块的外侧面及腔室的内侧面上固着的粉体以提高操作效率并能够确保设备的耐久性的废气分拣分离处理装置。

另外，本发明的目的在于提供废气分拣分离处理装置，其由于具有第一、第二废弃物存放箱，即使设备运行过程中也能够将捕集到的粉体排出到外部，从而可通过连续运行来改善运行率。

另外，本发明的目的在于提供废气分拣分离处理装置，其通过向第二流动管内注入已加热的工艺气体来防止粉体固着或生成，从而能够使废气处理顺利地进行，而且由于不需要使用附加电能，因此能够改善处理效率，并延长设备寿命。

【技术方案】

为了解决如上所述的技术问题，根据本发明的废气分拣分离处理装置由废气分离部、加热箱部、刮板单元部及湿式清洗处理部组成，所述废气分离部上形成有使先行工艺的废气流入的流入口、根据流入所述流入口的所述废气的腐蚀性及非腐蚀性与否来转换移动方向的方向转换阀、基于所述方向转换阀使所述废气移动的第一移动管及第二流动管,所述加热箱部由用于热分解经过所述第一移动管及第二流动管的废气的多个发热模块和用于容纳所述第一移动管及第二流动管的腔室组成,所述刮板单元部设置于所述加热箱部并用于去除所述腔室的内侧面上固着的粉体,所述湿式清洗处理部与所述加热箱部连通且内侧形成有多个喷嘴，所述多个喷嘴用于喷射对通过所述加热箱部的所述废气进行湿式清洗处理的清洗液。

另外，所述刮板单元部上分别形成有环状的底座轨、电机部、环状第二齿轮部及第一粉体清除杆,所述电机部形成于所述底座轨的一侧，所述第一齿轮部与所述电机部的轴连接,所述环状第二齿轮部可旋转地安装在所述底座轨的内侧并与所述第一齿轮部咬合，所述第一粉体清除杆位于所述第二齿轮部的内侧面且与所述腔室的内侧面接触。

另外，所述第二齿轮部的内侧面形成有第二粉体清除杆,所述第二粉体清除杆与所述发热模块的外侧面的一部分接触用以清除所述发热模块的外侧面上固着的粉体。