[发明专利]抗蚀剂剥离液有效
| 申请号： | 202080005361.9 | 申请日： | 2020-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN112805631B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 渊上真一郎;铃木靖纪;鬼头佑典 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 | ||
【权利要求书】：
1.一种抗蚀剂剥离液，其特征在于，包含：
相对于剥离液总量为0.5～5质量％的2级环状胺、
相对于所述2级环状胺为5～10质量％的碱性氨基酸、
相对于所述碱性氨基酸为10～30质量％的保护剂、
相对于所述2级环状胺为10～50质量％的糖醇、
有机极性溶剂、以及
水，
所述2级环状胺为六亚甲基亚胺或1-甲基吡咯烷中的至少一者。
2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液，其特征在于，所述碱性氨基酸包含精氨酸或赖氨酸中的至少任一者。
3.根据权利要求1或2中任一项所述的抗蚀剂剥离液，其特征在于，所述保护剂为选自苯并三唑、5-甲基-1H-苯并三唑、2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并噻唑、2-巯基-5-甲基苯并咪唑、1-[N,N-双(2-乙基己基)氨基甲基]-1H-苯并三唑、2,2’-[[(甲基-1H-苯并三唑-1-基)甲基]亚氨基]双乙醇中的至少一种。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的抗蚀剂剥离液，其特征在于，所述糖醇为甘油或山梨醇中的至少任一者。
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