[发明专利]激光加工设备、其操作方法及使用其加工工件的方法

权利要求书

1.一种激光加工设备，其包含：

激光源，其可操作以产生激光能量光束，其中该激光能量光束可沿光束路径传播；

第一定位器，其配置于该光束路径内，其中该第一定位器可操作以使该光束路径偏转；及

控制器，其耦接至该第一定位器，

其中该控制器经配置以控制该第一定位器的操作以使该光束路径在第一主要角范围内及在第二主要角范围内偏转，其中该第二主要角范围不与该第一角范围重叠且不与该第一主要角范围邻接，且

其中该控制器进一步经配置以控制该第一定位器的操作以使该光束路径偏转至该第一主要角范围内的第一多个角度及第二主要角范围内的第二多个角度。

2.根据权利要求1的设备，其中该激光源可操作以产生具有在电磁光谱的紫外线UV范围内的波长的激光能量光束。

3.根据权利要求1的设备，其中该激光源可操作以产生具有在电磁光谱的长波长红外线LWIR范围内的波长的激光能量光束。

4.根据权利要求1的设备，其中该第一定位器包含：

第一声光偏转器AOD；及

第二AOD，其光学耦接至该第一AOD的输出，

其中该第一AOD及该第二AOD可操作以使该光束路径沿同一轴偏转。

5.根据权利要求1的设备，其进一步包含：

第一扫描头，其包含扫描透镜；

第二扫描头，其包含扫描透镜；

至少一个光学组件，其经配置以将在该第一角范围内偏转的该光束路径导引至该第一扫描头；及

至少一个光学组件，其经布置以将在该第二角范围内偏转的该光束路径导引至该第二扫描头。

6.根据权利要求5的设备，其中从该第一扫描头及该第二扫描头所组成的群组中选择的至少一者包括可操作以使该光束路径偏转的第二定位器。

7.根据权利要求6的设备，其中该第二定位器包括电流计镜面系统。

8.一种整合式光束截止器系统，其包含：

框架；

检拾器镜面，其耦接至该框架且经配置以反射激光能量光束；及

光束截止器，其耦接至该框架且经配置以吸收该激光能量光束。

9.根据权利要求8的整合式光束截止器系统，其中该检拾器镜面经布置以将激光能量光束反射至该光束截止器。

10.根据权利要求8的整合式光束截止器系统，其进一步包含耦接至该框架的中继器镜面，其中该中继器镜面经布置以接收由该检拾器镜面反射的该激光能量光束且将所接收的该激光能量光束反射至该光束截止器。

11.根据权利要求8的整合式光束截止器系统，其中该检拾器镜面包含形成于该框架上的涂层。

12.一种整合式光束截止器系统，其包含：

一框架，其具有一第一表面及至少一个第二表面，

其中该第一表面经配置以反射一激光能量光束，且

其中该至少一个第二表面经配置以吸收该激光能量光束。

13.根据权利要求12的整合式光束截止器系统，其中该第一表面经布置以将激光能量光束反射至该至少一个第二表面。

14.根据权利要求12的整合式光束截止器系统，其中该框架具有第三表面，其中该第三表面经配置反射该激光能量光束、经布置以接收由该第一表面反射的该激光能量光束且将所接收的激光能量光束反射至该至少一个第二表面。

15.根据权利要求12的整合式光束截止器系统，其进一步包含耦接至该框架的冷却系统，其中该冷却系统与该框架的具有该至少一个第二表面的部分热接触。