[发明专利]陶瓷加热器及其制法

权利要求书

1.一种陶瓷加热器，具备：

陶瓷板，其具有晶片载置面，且具备圆形的内周侧区域和环状的外周侧区域；

高熔点金属制的内周侧电阻发热体，其设置于所述内周侧区域；以及

至少表面为金属碳化物制的外周侧电阻发热体，其设置于所述外周侧区域。

2.根据权利要求1所述的陶瓷加热器，所述内周侧电阻发热体和所述外周侧电阻发热体分别与不同的电源连接。

3.根据权利要求1所述的陶瓷加热器，所述内周侧电阻发热体和所述外周侧电阻发热体串联连接而与同一个电源连接。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的陶瓷加热器，所述高熔点金属是选自由钨、钼及它们的合金组成的组中的至少一种，

所述金属碳化物为碳化钨或碳化钼。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的陶瓷加热器，所述外周侧电阻发热体中的至少位于所述外周侧区域的最外周部的部分为金属碳化物。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的陶瓷加热器，所述外周侧电阻发热体为二维形状。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的陶瓷加热器，所述内周侧电阻发热体在表面具有所述高熔点金属的碳化物的薄膜。

8.一种陶瓷加热器的制法，其包括烧成工序，在所述烧成工序中，对于在内周侧区域埋设有内周侧电阻发热体且在外周侧区域埋设有外周侧电阻发热体的烧成前的陶瓷前体，在非活性气氛中，在烧成中使用的夹具、模具和烧成炉的至少一者为碳制的条件下进行烧成而制造陶瓷板，

所述陶瓷加热器的制法包括：

前处理工序，在将所述外周侧电阻发热体埋设于所述陶瓷前体之前，准备高熔点金属制的电阻发热体，进行将所述高熔点金属制的电阻发热体的至少表面碳化的处理，由此制作所述外周侧电阻发热体，将其埋设于所述陶瓷前体。

9.根据权利要求8所述的陶瓷加热器的制法，在所述前处理工序中，将所述高熔点金属制的电阻发热体的整体碳化。