[发明专利]由层叠成型体构成的Ni基合金构件、Ni基合金构件的制造方法以及使用Ni基合金构件的产品

权利要求书

1.一种Ni基合金构件，是以质量比计Ni的含量最多、其次为Cr及Mo的含量多的Ni基合金构件，

所述Ni基合金构件为层叠成型体，且在晶粒的至少一部分具有Mo的偏析。

2.根据权利要求1所述的Ni基合金构件，其中

所述晶粒具有多个柱状单元组织，

在相邻的所述多个柱状单元组织之间存在所述Mo的偏析。

3.根据权利要求1或2所述的Ni基合金构件，其中所述Mo的偏析的Mo浓度比所述晶粒内的母相的Mo浓度高3at％以上。

4.根据权利要求2所述的Ni基合金构件，其中

所述柱状单元组织的横剖面中的圆近似径的平均直径为1000nm以下。

5.根据权利要求2或4所述的Ni基合金构件，其中在利用透射电子显微镜剖面观察所述柱状单元组织时，利用位错长度/评价体积(其中，评价体积为观察面积×试样厚度)求出的位错密度为10¹²m^-2以上。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的Ni基合金构件，其中所述晶粒的平均粒径为80μm～150μm。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的Ni基合金构件，其中

维氏硬度为200HV10以上。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的Ni基合金构件，其中

拉伸强度为850MPa以上。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的Ni基合金构件，其中

伸长率为50％以上。

10.一种产品，使用了如权利要求1至9中任一项所述的Ni基合金构件。

11.根据权利要求10所述的产品，其中所述产品为半导体制造装置。

12.一种Ni基合金构件的制造方法，包括通过使用了激光束或电子束的层叠成型，而获得由Ni基合金构成的层叠成型体的步骤，所述Ni基合金构成的层叠成型体以质量比计Ni的含量最多、其次为Cr及Mo的含量多，

在伴随所述层叠成型的熔融、凝固时，形成具有多个柱状单元组织的晶粒，在所述晶粒的内部且相邻的所述多个柱状单元组织之间形成Mo的偏析。

13.根据权利要求12所述的Ni基合金构件的制造方法，其中

所述柱状单元组织的横剖面中的圆近似径的平均直径为1000nm以下。

14.根据权利要求12或13所述的Ni基合金构件的制造方法，其中在800℃以上且1300℃以下对所述层叠成型体进行热处理。

15.根据权利要求14所述的Ni基合金构件的制造方法，其中所述热处理在0.5小时以上且3小时以下进行。

16.根据权利要求12或13所述的Ni基合金构件的制造方法，其中在600℃以上且小于800℃下进行时效热处理。

17.根据权利要求16所述的Ni基合金构件的制造方法，其中所述时效热处理在20小时以上且100小时以下进行。