[发明专利]用于通过声波分析流体的传感装置

权利要求书

1.一种检测流体中分析物的方法，所述方法包括以下步骤：

-预先布置包括至少一个SAW传感器(110)的传感装置(100)，所述或每个SAW传感器(110)包括：

-具有外表面(115′)的基板(115)，所述外表面包括至少一个压电部分；

-至少一个发射叉指式换能器(111)，其布置在所述外表面(115′)的所述压电部分上，所述发射叉指式换能器(111)布置成响应于输入电信号发射表面声波；

-至少一个反射器电极(112)，其布置在所述外表面(115′)上，所述反射器电极(112)布置成将所述声波向所述发射叉指式换能器(111)反射；

-在所述基板(115)的所述外表面(115′)上和/或在所述或每个发射叉指式换能器(111)上和/或在所述或每个反射器电极(112)上吸附多个探针分子；

-将具有各自频率f_i的n个输入电信号发送到所述发射叉指式换能器(111)，其中i＝1，...，n，并且随后由所述或每个发射叉指式换能器(111)传输至少一个表面声波；

-通过所述或每个反射器电极(112)反射所述或每个发射的表面声波；

-识别所述输入电信号的所述n个频率f_i、对应于产生功率超过预定阈值P_T的表面声波的至少一个共振频率f_r；

-在所述外表面(115′)和/或在所述或每个发射叉指式换能器(111)和/或在所述或每个反射器电极(112)上输送所述流体；

-通过所述外表面(115′)和/或通过所述或每个发射叉指式换能器(111)和/或通过所述或每个反射器电极(112)去除所述流体；

-验证先前识别的至少一个共振频率f_r的值的可能变化；

所述方法的特征在于，所述传感装置(100)还包括辅助叉指式换能器(120)，

并且在于，在所述外表面(115′)上输送所述流体的所述步骤的同时或上游，提供了由所述辅助叉指式换能器(120)传输具有频率f_t的表面声波的步骤，用于在所述流体中引入湍流。

2.根据权利要求1所述的检测流体中分析物的方法，其中在所述或每个发射叉指式换能器(111)和/或在所述或每个反射器电极(112)上进行所述吸附多个探针分子的步骤。

3.根据权利要求1所述的检测流体中分析物的方法，其中所述发射叉指式换能器(111)发射的所述n个表面声波的所述频率f_i大于800MHz，而所述辅助叉指式换能器(120)发射的所述频率f_t小于800MHz。

4.根据权利要求1所述的检测流体中分析物的方法，其中所述传感装置(100)包括至少两个SAW传感器(110)和控制单元，并且其中还提供了比较由所述至少两个SAW传感器(110)的所述电极反射器(112)反射的表面声波以降低噪声并以更高的精度确定所述或每个共振频率f_r的步骤。

5.根据权利要求1所述的检测流体中分析物的方法，其中所述传感装置(100)包括至少一个微流体通道(130)，所述微流体通道被布置成沿着所述外表面(115′)上的预定路径输送所述流体，以便将所述流体容纳在进行所述分析的最小体积中。

6.根据权利要求1所述的检测流体中分析物的方法，其中所述或每个SAW传感器(110)是适于产生瑞利表面声波的R-SAW传感器。

7.根据权利要求1所述的检测流体中分析物的方法，其中所述基板(115)的所述压电部分由铌酸锂[LN]制成。

8.根据权利要求1所述的检测流体中分析物的方法，其中存在限定至少两个共振频率fr的步骤。