[发明专利]等离子照射装置以及前端设备

说明书

等离子照射装置(20、320、420、520、620、720、820)具备气体引导路径(30)和沿面放电部(40、340、440、540、640、740、840)。沿面放电部(40、340、440、540、640、740、840)的放电电极和接地电极的一方直接或者经由其他构件而面向流路(36)，并与周期性变化的电压施加于放电电极相应地在流路(36)内产生沿面放电。并且，接地电极的至少一部分配置于比放电电极靠放出口(34)侧处。

技术领域

本发明涉及一种等离子照射装置以及前端设备。

背景技术

在专利文献1中公开了进行沿面放电型的等离子放电的等离子表面处理装置。该装置在反应部构成体设置有等离子生成用气体的流路，在该流路的壁面上配置沿面放电用电极。沿面放电用电极由配置于等离子生成用气体的行进方向的侧面的放电电极和经由电介质而与放电电极相对的感应电极构成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-50723号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，已知在沿面放电用电极附近容易产生等离子，通过使沿面放电用电极更加靠近流路的吹出口侧，能够从吹出口朝向照射等离子的等离子照射对象照射更多的等离子。从另一个角度来讲，通过使沿面放电用电极更加靠近流路的吹出口侧，能够朝向等离子照射对象高效地照射等离子，并能够降低施加于沿面放电用电极的施加电压。然而，对于专利文献1所公开的装置，在等离子生成用气体的行进方向(流路的方向)上放电电极的前端与感应电极的前端处于大致相同的位置。由于是这样的构成，所以在为了获得上述效果而使沿面放电用电极更加靠近流路的吹出口侧时，电位大幅变动的放电电极与等离子照射对象的距离变短，等离子照射对象可能会受到电气性的不良影响。

另一方面，若为了使等离子照射对象不受到电气性的不良影响而使沿面放电用电极更加远离流路的吹出口侧，则有可能无法从吹出口向等离子照射对象充分地照射等离子或者有可能无法降低施加于沿面放电用电极的施加电压。

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，以实现如下技术为目的：在沿面放电型的等离子照射装置中，能够将更多的等离子照射于等离子照射对象或者能够将等离子高效照射而降低对电极的施加电压，并且能够使等离子照射对象不受到由于电位大幅变动的放电电极的电气性的不良影响。

用于解决课题的技术方案

本发明之一的一种等离子照射装置，具备：

气体引导路径，具有导入气体的导入口、放出气体的放出口及设置于所述导入口与所述放出口之间的流路，所述气体引导路径使从所述导入口侧导入的气体通过所述流路内的空间而流向所述放出口；及

沿面放电部，具有介电层和夹设有所述介电层并相互相对配置的放电电极以及接地电极，所述放电电极和所述接地电极的一方直接或者经由其他构件而面向所述流路，并与周期性变化的电压施加于所述放电电极相应地在所述流路内产生沿面放电，其中，

所述接地电极的至少一部分配置于比所述放电电极靠所述放出口侧处。

上述等离子照射装置的接地电极的至少一部分配置于比放电电极靠放出口侧处。由此，能够使接地电极更加靠近放出口，并且能够使放电电极更加远离放出口。因此，能够在接近放出口的接地电极附近产生等离子，并且在靠近放出口的区域更加容易产生等离子。特别是，在沿面放电方式的装置中产生这样的作用的话，能够将更多的等离子照射于等离子照射对象，或者能够以更低的施加电压更加高效地照射等离子。而且，由于放电电极远离放出口，因此能够抑制对于等离子照射对象的电气性的不良影响。