[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

基板，具有第1主面；

第1电极，设置在所述基板的所述第1主面；

压电薄膜，设置在所述基板的所述第1主面上，覆盖所述第1电极的至少一部分；

第2电极，设置在所述压电薄膜上，具有隔着所述压电薄膜与所述第1电极对置的部分；以及

声反射器，设置在所述基板，使得所述第1电极层叠在上表面，

所述第1电极和所述第2电极在所述声反射器上隔着所述压电薄膜对置的部分被设为激励部，

所述弹性波装置还具备：

第1引出电极，与所述第1电极相连，从所述激励部引出到激励部外；以及

第2引出电极，与所述第2电极相连，从所述激励部引出到激励部外，

在所述第1引出电极以及所述第2引出电极中的至少一者中，沿着远离所述激励部的方向设置有周期性的图案。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

在俯视下，所述激励部是具有多个边的多边形的形状，

在所述第1引出电极以及所述第2引出电极中的至少一者中，沿着所述激励部的所述边的法线方向设置有周期性的图案。

3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述激励部在俯视下外周缘具有曲线状的形状，

在所述第1引出电极以及所述第2引出电极中的至少一者中，沿着相对于将与所述激励部连接的两个点的连接点连结的假想线的法线方向设置有周期性的图案。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

设置有所述周期性的图案的所述第1引出电极以及所述第2引出电极中的至少一者具有被分割为多个的多个分割引出部。

5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，

所述多个分割引出部相互平行。

6.根据权利要求4或5所述的弹性波装置，其中，

所述多个分割引出部在相对于所述激励部的所述边平行的方向上等间隔地配置。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

所述周期性的图案在与所述第1引出电极或所述第2引出电极的被引出的方向交叉的方向上，具有从所述第1引出电极或所述第2引出电极突出的多个突出部。

8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，

在所述第1引出电极或所述第2引出电极中，在与所述法线方向正交的方向上对置的一对突出部设置有多对。

9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，

所述一对突出部设置为与所述第1引出电极或所述第2引出电极相连。

10.根据权利要求8或9所述的弹性波装置，其中，

具有所述一对突出部和将所述一对突出部间连结的连结部。

11.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

所述周期性的图案设置在所述第1引出电极或所述第2引出电极内，具有在所述法线方向上周期性地配置的凸部或凹部。

12.根据权利要求1～11中的任一项所述的弹性波装置，其中，

所述声反射器是空腔。

13.根据权利要求1～11中的任一项所述的弹性波装置，其中，

所述声反射器是层叠了声阻抗相对低的低声阻抗材料层和声阻抗相对高的高声阻抗材料层的布拉格声反射器。

14.根据权利要求1～13中的任一项所述的弹性波装置，其中，

所述弹性波装置是BAW装置。