[发明专利]三维测量系统和三维测量方法

权利要求书

1.一种三维测量系统，包括：

平台；

机械臂，所述机械臂被配置为保持待测量的工件并且改变所述工件的姿态；

探针，所述探针被配置为能够相对于所述平台移动并且对所述工件执行三维测量；

相对位置改变检测装置，所述相对位置改变检测装置用于检测所述平台与所述机械臂之间的相对位置的改变；和

校正装置，所述校正装置用于基于由所述相对位置改变检测装置执行的检测的结果来校正由所述探针对所述工件执行的所述测量的结果。

2.根据权利要求1所述的三维测量系统，其中，

所述探针在所述机械臂保持所述工件的状态下对所述工件执行所述三维测量。

3.根据权利要求1或2所述的三维测量系统，其中，

所述相对位置改变检测装置包括臂振动检测装置，所述臂振动检测装置用于检测所述机械臂的振动。

4.根据权利要求3所述的三维测量系统，其中，

所述臂振动检测装置检测所述机械臂的末梢端部部分附近的振动。

5.根据权利要求1至2中任一项所述的三维测量系统，其中，

所述相对位置改变检测装置包括平台振动检测装置，所述平台振动检测装置用于检测所述平台的振动。

6.根据权利要求1至2中任一项所述的三维测量系统，其中，

所述相对位置改变检测装置包括倾斜检测装置，所述倾斜检测装置用于检测所述平台相对于水平方向的倾斜。

7.根据权利要求1至2中任一项所述的三维测量系统，其中，

所述相对位置改变检测装置检测在水平方向和竖直方向上相对位置的改变量；并且

所述校正装置将所述相对位置的所述改变量加到在所述水平方向和所述竖直方向上由所述探针对所述工件执行的所述测量的结果，或从在所述水平方向和所述竖直方向上由所述探针对所述工件执行的所述测量的结果减去所述相对位置的所述改变量。

8.根据权利要求1至2中任一项所述的三维测量系统，其中，

所述相对位置改变检测装置实时检测所述相对位置的改变；并且

所述校正装置基于实时检测到的所述相对位置的改变来实时校正由所述探针对所述工件执行的所述测量的结果。

9.根据权利要求1至2中任一项所述的三维测量系统，其中，

所述相对位置改变检测装置包括激光跟踪器，所述激光跟踪器包括：

反射器，和

激光跟踪器本体，所述激光跟踪器本体被配置为向所述反射器发射激光并且从所述反射器接收所述激光的反射光，从而获得所述反射器的位移；并且

所述反射器设置在所述机械臂上。

10.根据权利要求1至2中任一项所述的三维测量系统，还包括：

温度检测装置，所述温度检测装置用于检测所述工件的温度；和

所述校正装置基于由所述温度检测装置执行的检测的结果来校正由所述探针对所述工件执行的所述测量的结果。

11.根据权利要求1至2中任一项所述的三维测量系统，其中，

所述机械臂的末端执行器包括温度检测装置，所述温度检测装置用于检测所述工件的温度。

12.根据权利要求11所述的三维测量系统，其中，

所述温度检测装置设置在保持所述工件的所述末端执行器的保持表面上。

13.根据权利要求11所述的三维测量系统，其中，

所述校正装置基于所述温度检测装置执行的检测的结果来校正由所述探针对所述工件执行的所述测量的结果。

14.根据权利要求11所述的三维测量系统，其中，

所述温度检测装置在所述机械臂保持所述工件的状态下检测所述工件的温度。