[发明专利]靶材的研磨方法、靶材的制造方法以及循环铸块的制造方法有效
| 申请号： | 202080009495.8 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113302331B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 西冈宏司;塚田洋行;德永真喜 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B24B21/12;B24B23/06;B24D7/06;B24D11/00;B24D11/06 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 李文屿 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 方法 制造 以及 循环 | ||
1.靶材的研磨方法，其为对从溅射靶分离出的靶材进行研磨的方法，所述溅射靶通过接合材料将靶材与支承部件接合而构成，其中，
所述靶材的研磨方法包括：使用研磨材料对所述靶材中的与所述支承部件接合而成的接合面进行研磨，所述研磨材料包含由磨石形成的多个块状体，并且所述多个块状体以与邻接的块状体通过间隙而隔开的方式排列在同一面上，
所述靶材的维氏硬度为10以上且40以下，
所述研磨材料的所述块状体的表面粗糙度Ra为5μm以上且50μm以下。
2.如权利要求1所述的靶材的研磨方法，其中，所述研磨材料形成为带状，一边使所述研磨材料旋转一边研磨所述靶材的所述接合面。
3.如权利要求2所述的靶材的研磨方法，其中，所述带状的研磨材料绕挂于辊，一边使用所述辊将所述研磨材料推压至所述靶材，一边研磨所述靶材的所述接合面。
4.如权利要求3所述的靶材的研磨方法，其中，所述辊为橡胶辊。
5.如权利要求1至4中任一项所述的靶材的研磨方法，其中，所述靶材的主成分为铝或铜。
6.靶材的研磨方法，其为对从溅射靶分离出的靶材进行研磨的方法，所述溅射靶通过接合材料将靶材与支承部件接合而构成，其中，
所述靶材的研磨方法包括：使用研磨材料对所述靶材中的与所述支承部件接合而成的接合面进行研磨，所述研磨材料包含由磨石形成的多个块状体，并且所述多个块状体以与邻接的块状体通过间隙而隔开的方式排列在同一面上，
所述靶材的维氏硬度为40以上且120以下，
所述研磨材料的所述块状体的表面粗糙度Ra为12μm以上且50μm以下。
7.如权利要求1或6所述的靶材的研磨方法，其中，
所述接合材料为包含锡、锌、铟、铅或这些金属的合金的焊料材料。
8.靶材的制造方法，其包括：通过权利要求1或6所述的研磨方法处理靶材。
9.循环铸块的制造方法，其包括：将通过权利要求8所述的制造方法得到的所述靶材作为原料进行铸造来制造循环铸块。
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