[发明专利]电场传感器在审

专利信息
申请号: 202080010077.0 申请日: 2020-01-21
公开(公告)号: CN113330320A 公开(公告)日: 2021-08-31
发明(设计)人: 松本宪典;品川满;胜山纯 申请(专利权)人: 横河电机株式会社;学校法人法政大学
主分类号: G01R29/08 分类号: G01R29/08;G01R29/12
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 何立波;张天舒
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 电场 传感器
【权利要求书】:

1.一种电场传感器,其中,

所述电场传感器具有:

光源;

电光晶体,其被入射基于由所述光源射出的光的规定的偏振状态的光,接收由目标对象物发出的电场;

第1分离部,其将从所述电光晶体射出的光分离为P波和S波;

第1波长板,其在所述第1分离部的前段使光的相位变化;

第1受光部,其接收所述P波的光,将接收到的光变换为第1电信号;

第2受光部,其接收所述S波的光,将接收到的光变换为第2电信号;

差动放大部,其生成由所述第1受光部变换后的所述第1电信号、与由所述第2受光部变换后的所述第2电信号的差动信号;以及

控制部,其以使得从所述光源射出光且对所述电光晶体施加有电场的状态下的所述差动放大部的直流分量的输出值处于规定值的范围的方式,对所述光源的波长进行调整。

2.根据权利要求1所述的电场传感器,其中,

所述控制部以使得从所述光源射出光且对所述电光晶体施加有电场的状态下的所述差动放大部的直流分量的输出值处于所述规定值的范围的方式,对所述光源的温度进行调整,由此调整所述光源的波长。

3.根据权利要求1所述的电场传感器,其中,

还具有透明电极以及反射镜,

所述电光晶体在一个面相对配置有所述透明电极,在另一个面配置有所述反射镜,

基于由所述光源射出的光的规定的偏振状态的光从所述透明电极入射,通过所述反射镜对从所述透明电极入射的光进行反射,反射后的光从所述透明电极射出,从所述透明电极射出的光入射至所述分离部。

4.根据权利要求2所述的电场传感器,其中,

还具有透明电极以及反射镜,

所述电光晶体在一个面相对配置有所述透明电极,在另一个面配置有所述反射镜,

基于由所述光源射出的光的规定的偏振状态的光从所述透明电极入射,通过所述反射镜对从所述透明电极入射的光进行反射,反射后的光从所述透明电极射出,从所述透明电极射出的光入射至所述分离部。

5.根据权利要求1所述的电场传感器,其中,

还具有:

第1增益可变部,其对所述第1受光部的所述第1电信号的第1增益进行变更;以及

第2增益可变部,其对所述第2受光部的所述第2电信号的第2增益进行变更,

所述控制部以使得从所述光源射出光且没有对所述电光晶体施加电场的状态下的所述差动放大部的直流分量的输出值处于规定值的范围的方式,对所述第1增益可变部的所述第1增益及所述第2增益可变部的所述第2增益进行调整。

6.根据权利要求2所述的电场传感器,其中,

还具有:

第1增益可变部,其对所述第1受光部的所述第1电信号的第1增益进行变更;以及

第2增益可变部,其对所述第2受光部的所述第2电信号的第2增益进行变更,

所述控制部以使得从所述光源射出光且没有对所述电光晶体施加电场的状态下的所述差动放大部的直流分量的输出值处于规定值的范围的方式,对所述第1增益可变部的所述第1增益及所述第2增益可变部的所述第2增益进行调整。

7.根据权利要求3所述的电场传感器,其中,

还具有:

第1增益可变部,其对所述第1受光部的所述第1电信号的第1增益进行变更;以及

第2增益可变部,其对所述第2受光部的所述第2电信号的第2增益进行变更,

所述控制部以使得从所述光源射出光且没有对所述电光晶体施加电场的状态下的所述差动放大部的直流分量的输出值处于规定值的范围的方式,对所述第1增益可变部的所述第1增益及所述第2增益可变部的所述第2增益进行调整。

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