[发明专利]干式粗真空泵

说明书

本发明涉及一种干式粗真空泵(1)，它包括形成在定子(2)中的管道，所述管道的入口孔口旨在连接至少一个吹扫气体源，所述管道的至少一个出口与最后的泵送级(3e)相通，所述最后的泵送级(3e)与排出口(5)相通，该干式粗真空泵还包括用于注入加热的吹扫气体的装置(15)，所述装置包括加热装置(24)，所述加热装置构造为将被注入管道中的吹扫气体至少部分地加热至高于40℃的温度。

技术领域

本发明涉及一种干式粗真空泵，例如“罗茨(Roots)”、“爪式(Claw)”或螺杆型泵。

背景技术

干式粗真空泵包括多个串联的泵送级，待泵送的气体通过这些泵送级在入口和排出口之间循环。在已知的粗真空泵中，区分为具有旋转凸叶的也被称为“罗茨”泵的那些，或者具有“爪”的也被称为“爪式”泵的那些，或者螺杆型的那些。这些真空泵被称为“干式”，因为在操作中，转子在定子内旋转，其中转子之间或者转子与定子之间没有机械接触，这意味着在泵送级可以不使用润滑油。

某些粗真空泵被用在采用化学品的工艺中，所述化学品产生固体副产品，例如以粉末、糊状或块状的形式。例如，用于制造半导体、光伏屏幕、平面屏幕或LED的某些工艺就是这种情况。这些固体或可凝结的副产品可能会被吸入真空泵并影响其运行，特别是妨碍转子的旋转，或者在最糟糕的情况下，甚至完全阻止转子转动。某些应用还释放出具有潜在爆炸性和/或可燃性的副产品或气体，如H₂、SiH₄、TEOS。

为限制这些风险，所泵送的气体通常用注入真空泵的吹扫气体进行稀释。氮气通常通过沿真空泵的分布在每个泵送级的注射喷嘴被注入。有时还需要通过注入额外的—有时是加热的—吹扫气体来吹扫位于真空泵下游的导管，以防止这些气体在真空泵的出口处、导管或气体处理系统(也称为减排系统)中冷凝。

注入加热的额外吹扫气体使得有效稀释气体成为可能，但这也是一项显著的成本。此外，这种额外的吹扫对位于吹扫气体注入点上游的元件没有好处，特别是对真空泵没有好处。

发明内容

本发明的一个目的是提高真空泵的吹扫效果。本发明的另一个目的是减少与被泵送的气体的吹扫有关的成本。

为此，本发明的一个主题是一种干式粗真空泵，它包括：

-定子，所述定子包括串联安装在真空泵的入口和排出口(输出口，转送部)之间的至少两个泵送级，

-两个转子，所述两个转子布置在所述至少两个泵送级中，这些转子由轴承载，并且构造为沿相反的方向同步旋转，以便在入口和排出口之间传输(驱动)待泵送的气体，

其特征在于，该真空泵还包括：

-形成在定子中的管道，所述管道的入口孔口旨在连接至至少一个吹扫气体源，所述管道的至少一个出口孔口与和排出口相通的最后的泵送级相连通，以及

-用于注入加热的吹扫气体的装置，它包括加热装置，所述加热装置构造为至少部分地加热注入管道中的吹扫气体，使之达到高于40℃的温度。

对被注入输出泵送级中的吹扫气体流的部分进行加热，可在不改变真空泵的热平衡的情况下显著增大被注入的吹扫气体的流通。被注入输出泵送级中的吹扫气体可有效稀释被泵送的气体，特别是潜在的爆炸性和/或可燃性气体—例如H₂、SiH₄、TEOS，或可凝结的气体—例如反应副产品。

在输出泵送级进行的稀释使得在真空泵中尽可能接近排出口地直接稀释气体成为可能，这消除了在真空泵和现有技术中的真空泵下游的吹扫气体注入点之间的冷的或不充分稀释的区域。这避免了被泵送的气体在位于真空泵下游的导管中或在气体处理系统和在真空泵中凝结。

真空泵的寿命可以得到延长。